Samarqand davlat universiteti fizika fakulteti

1.6- rasm. Qurilmaning umumiy koʻrinishi. 

Vakuum  tuzilmasi  va  turli  moslamalarni  boshqarish  pulti  taglikning 

yuqorigi  qismida  burchak  ostida  joylashtirilganligi,  operatorning  ishlashi  uchun 

qulaylik  yaratadi.  Boshqarish  pulti  bilan  ishchi  hajmning  ikki  tarafida  barcha 

ta'minlash  manbalari  joylashtirilgan  va  ular  kabellar  orqali  bir-biri  bilan  elektrik 

jihatdan bogʻlangan. 

Obyektlarni  tayyorlash  boʻyicha  operasiyalar  ishchi  hajmda  gazlarning 

qoldiq  bosimi  1,3∙10

-2

  ÷  1,3∙10

-4 

Pa  boʻlganda  bajariladi.  Bunday  bosimni  hosil 

qilish  uchun  mexanik  aylanma  vakuumni  nasosi  va  keyin  bugʻ-moyli  yuqori 

vakuumni nasosi qoʻllanilgan klassik vacuum sistemasi ishlab chiqilgan.  

Vakuum  tuzilmasi  qoʻlda  boshqarilishi  yoki  avtomatik  maromda  ishlashi 

mumkin,  ya'ni  ishchi  hajmdan  1,3-10

-4 

Pa  bosimgacha  gazlarni  soʻrib  olishda 

vacuum  tuzilmasining  kommutasiyasi  operator  boshchiligida  yoki  uning 

---

33 

 

ishtirokisiz amalga oshirilishi mumkin.  

Vakuum  tuzilmasining  komponentlari  ichida  yuqori  vakuum  klapani 

original hisoblanadi. 

Taglikda  (1.7-rasm)  ion  yedirish  moslamasi,  obyektlarni  qizdirish 

moslamasi,  pardalarni  oʻtqazish  moslamasini  ta'minlash  uchun  va  qalinlik 

indikatorining  datchigini  ulash  uchun  uzatgichlar,  ion  yedirish  va  elektron 

bugʻlatgichni  ta'minlash  uchun  yuqori  voltli  oʻtkazgich,  bugʻlatishda  obyektlar 

stolchasini buradigan moslamani ta'minlash uchun kontakt, bugʻlatgichlarni ulash 

uchun  kontakt  va  elektron  zambaraklarning  katodlarini  yoki  rezistiv 

bugʻlatgichlarning  ikkinchi  ta'minlash  manbasi  bilan  ulush  uchun  kontaktlar 

joylashgan. Ishchi hajm tagligi vakuum tuzilmasi bilan flanesli birikma yordamida 

ulangan. [7] 

Taglikda  maxsus  oʻtkazuvchi  teshiklar  boʻlib,  ularda  qurilmaning 

(harakatlanuvchi dastalari) oʻrnatilgan. 

Ishchi hajmning shisha qalpogʻi organik shishadan tayyorlangan silindr 12 

bilan himoyalangan. 

Himoya silindrisiz asbobda ishlash mutloqa taqiqlanadi.