Samarqand davlat universiteti fizika fakulteti

I  BOB.  VAKUUMDA  YUPQA  METALL  QATLAMLARNI  OLISH 

TEXNOLOGIYALARI ………………………………………………………….7 

1.1. Yupqa qatlamlarni hosil qilish usullari……………………………….7 

1.2. Rezistiv va induksion bugʻlatkichlar………………………………...17 

1.3. Qatlamlar olishning fizik-kimyoviy usullari………………………...25 

1.4. Yupqa metall qatlamni olish qurilmasi (VUP-5 qurilmasi misolida).27 

II BOB. METALL QATLAMLARNING ELEKTR 

OʻTKAZUVCHANLIGI………………………………………………………...40 

2.1.Yaxlit  metall  qatlamlarning  elektr  oʻtkazuvchanligi  va  ularning 

oʻlchamlarga bogʻliqligi……………………………………..……………………40 

2.2.Yupqa qatlamli qarshiliklar……………………………...………...…43