С. Зайнобидинов, X. Акромов яримутказгичлар

4 .1-жадвал
Кремний намуналарида асосий булмаган заряд ташувчиларнинг 
сиртдаги яшаш ва^тлари.
Намуна, 
Калинлиги, 
мм
Т5 
=
d1
р-тип D--= 39 см2/с
л-тип D  =
Р
15,5 см2/с
d
У= 104 см/с S= 103 см/с S= 104 см/с У=103 см/с
0,4
6
24
12
29
1
31
72
70
110
5
670
880
1700
1960
10
2700
3100
6800
7100
15
5900
6500
10000
11000
20
10500
11000
27000
27000
rs нинг кийматлари тахлилидан куринадики, г ни A G  
нинг суниши буйича аниклашда заряд ташувчилар хаж­
мий яшаш ва^тини 10% дан катта булмаган хатолик би­
лан улчаш учун, —— = - + — га кура, шундай калинликда-
т эф 
г 
т 5
ги намунани танлаш керакки, унда ts нинг к,иимати г га 
нисбатан камида (бир тартибда) ун марта катта булиши 
керак. Масалан, диаметри ф 76 мм, калинлиги 0,4 мм 
булган кремний намунасида г ни 10% дан катта булмаган 
хатолик билан улчаш учун г нинг киймати Н-2 мкс дан 
кичик булиши керак. Электрон саноати ривожланиши 
билан кейинги йилларда заряд ташувчилар параметрла­
рини контактсиз аникдаш усулларига талаб ортди. Ш у
боисдан бир канча усуллар яратилди. Бу усуллар асосида 
намунага инжекцияланган заряд ташувчилар концентра- 
циясининг суниши билан боглик ходисалар ётади. Маса­
лан, ёруглик импульси билан генерацияланган эркин за­
ряд ташувчиларда ёруглик ютилиш коэффициентининг 
сунишига асосланган усулни курсатиш мумкин.
в. 
Бир жинсли намуналарда заряд ташувчилар яшаш вак, -
тини улчашнинг частотавий фаза усуллари
189

---

Бу усуллар билан г ни аншдмшнинг асосида номуво­
занат заряд ташувчилар яшаш вак,тини аник, маълум бир 
чекли к,ийматга эга булиши билан боглик, концентрация­
си, фотоутказувчанликнинг суниш ва кутарилиш жара- 
ёнлари инерционлиги ётади.
Намунада заряд ташувчилар интенсивлиги синусоиди 
буйича (гармоник) модуляцияланган
/ =/^(1 + sinew/) 
ёки комплекс функция куриниш
1 = 1 , + L e h>'
v 
Ov 
Ov
билан ифодаланувчи ёруглик билан кузгатил ганда наму­
нанинг фотоутказувчанлиги ва фототоки бироз кечикиш 
билан худди ёруглик интенсивлигини узгариши каби со­
дир булади. Яъни ёруглик ок,ими билан фототок орасида 
фаза фарк,и пайдо булади. Бу фаза силжиши заряд та­
шувчиларнинг хажмий яшаш вактига ёруглик модуляци- 
ясининг частотасига, сиртий рекомбинация тезлигига 
боглик,. Шундай к,илиб, бу икки сигнал орасидаги фаза 
фарк,ини (силжишиии) улчаш билан г ни аникдаш имко- 
ни тугилади.
Ёругликнинг модуляция частотаси ош иш и билан ф о ­
тотокни частотага боклшушги намоён була бошлайди. 
Фаза силжиши каби фототок амплитудаси г, ш ларга бог­
лик,. Фототок амплитудасининг ёруглик модуляцияси час­
тотасига бокланишидан г ни топиш мумкин. Бу усуллар 
билан г ни аник/таш назариясини к,араб чик,амиз. Маса­
лан, содцалаштириш учун заряд ташувчилар намунада 
текис генерациялансин, электр майдон кучланганлиги 
кичик, намуна сиртларида сиртий рекомбинация булма- 
син деб фараз кдлинганда, (4 9) узлуксизлик тенглама­
нинг дрейф, диффузия билан боглик, хдцлари инобатга 
олинмайди, Бу х;олда заряд ташувчилар генерация тезли­
ги g ^ a p I J l - R )  (4.58) ёки (4.59) га кура
g=apl0y(l+sina)i Xl- R^g^+g^sincot 
(4.60) 
g = a p l j 1+еы )(1 - Я )= g 0v+g0yek" 
(4.61)
190

---

ифода билан аникданади. Шундай к,илиб, (4.9) узлуксиз- 
лик тенгламаси (4.60) га кура