С. Зайнобидинов, X. Акромов яримутказгичлар

A = P i + P1 
V' = И 1+(1 80- А г)]/2
хисоблаш формулаларидан аникланади.
Кейинги йилларда эллипсометрик улчашларнинг сез- 
гирлиги жи\атидан юцори, урганиладиган материаллар 
доирасининг кенгайишига имкон берадиган, автоматлаш- 
тириш кулай булган бир кднча усуллари яратилган.
хр ва А ларнинг тажрибада аникданган к,иймаглари 
буйича олдиндан чизилган номограммадан ёки эллипсо­
метрия асосий тенгламаси орк,али \исоблаб, ярим>тказ- 
гич намуналар оптик константаларининг электрофизик 
параметрлари аникланади.

---

4-Б О К
Н О М У В О З А Н А Т ЗАРЯД Т А Ш У В Ч И Л А Р
П А Р А М Е Т Р Л А Р И Н И У Л Ч А Ш У С У Л Л А Р И
4Л-§. Номувозанат заряд ташувчилар 
параметрлари
Яримутказгичлар ташки таъсир остида, яъни ёруглик, 
рентген, у — квантлар, тезлантирилган нейтрал, заряд- 
’ланган заррачалар хдмда р— п утиш оркали инженция, 
электр майдонда зарбдан ионланиш, туннел жараёнлари 
туфайли номувозанат заряд ташувчиларнинг пайдо були­
ши, генерацияланиши мумкин. Номувозанат заряд та­
шувчилар яримутказгич материаллари ла асбобларининг 
; электрофизик, фотоэлектрик хоссаларини аниклайди. 
Номувозанат заряд ташувчиларнинг дрейф вдракатчан- 
лиги (м) диффузия коэффициенти (D), диффузион узун­
лик (L ), яшаш вакти (г), сиртий рекомбинация тезлиги 
(.S) каби параметрлар билан тавсифланади. Бу параметр- 
ларни аниклаш усуллари электрон, кавак узлуксизлик 
тенгламаларининг баъзи бир содцалаштирувчи фаразлар 
билан берилган бошлангич, чегаравий шартларни кано­
атлантирувчи ечимини топишга асосланган. Яримутказ­
гич намуналарда номувозанат заряд ташувчилар хусусия- 
ти (табиати, хатти-хдракати) куйидаги
1. Электрон, кавак ток зичликлари
Y ,= efl„nE+edngracln 
др-ер^Е- edpgradp
(4.1)
(4.2)
2. Узлуксизлик
п
(4.3)
(4.4)
166

---

тенгламалари системаси ечими билан тавсифланаци:
Бу ерда п=п0+А п ва р =р0+А р  — номувозанат холатдаги 
заряд ташувчилар (электрон, ковак) тула концентрация­
си п0, р!} — мувозанатдаги заряд ташувчилар электрон, 
кавак концентрацияси; Ап, Ар — номувозанат заряд та­
шувчилар электрон, кавакнинп мувозанат холатдагисига 
нисбатан ортикча концентрацияси, Ап, Ар — электрон, 
кавак диффузия коэффициентлари; цп, цр — электрон, 
кавак харакатчанликлари; гя, т — электрон, кавак яшаш 
вакдлари; gn, gp — электрон, кавакни генерациялаш тез- 
ликлари.
Фотоинженция (ёруглик орк,али) номувозанат х,олат- 
даги заряд ташувчиларни хосил кдлганда генерация тез­
лиги
ифода билан топилади. Бу ерда а — ёругликнинг яримуг- 
казгичда ютилиш коэффициенти, Ry — ёругликнинг наму­
надан кэйтиш коэффициента, hv— фотон энергияси, (i — 
заряп, ташувчиларнинг квант чшдигш коэффициенти /(Н, — 
ёруглик интенсивлиги. (4.3) ва (4.4) тенгламалардан кури­
надики, номувозанат холатдаги заряд ташувчилар кон-
центрацияларининг узгариш тезликлари — , — ни заряд
dt 
dt
ташувчиларнинг рекомбинация, генирация, дрейф-диф- 
фузия жараёнлари аникдайди. Заряд ташувчилар концен­
трацияси фак,ат бир йуналишда, масалан, х — ук,и буйича 
узгаради ва электр майдон кучланганлиги Е х ук,и буйича 
йуналган булсин деб олинган хол учун, (4.3) ва (4.4) тен- 
гламалар (4.1) ва (4.2) ни назарда тутганда, куйидаги кури- 
нишни олади:
g=a(5Ive~ax(\- R v)/hv=goe ах
art 
dp
Бу ерда 
Пуассон тенгламаси
167

---

(4.7)
билан ифодаланади. Хажмий заряд вужудга келмаганда, 
яъни намунада электр нейтраллик шарти А п=Ар бажа-