Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar II xalqaro ilmiy anjumani

Минимальный рабочий цикл напыления: 
• 
Размещение объекта, разогрев диффузионного насоса, откачка 
установки и обезгаживание – 1 ч 30 мин 
• 
Напыление 1 пленки с подогревом подложки – 20 минут 
• 
Охлаждение подложки, извлечение объекта – 40 минут 
• 
Охлаждение диффузионного насоса – 1 час. 
ТГТУ, г. Ташкент. ул. Университетская, 2.
тел. [phone] e-mail: 
[e-mail]
 
 
 
 

---

Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar

II xalqaro ilmiy anjumani 
 
19-20 noyabr 2021 yil 
624 
ЁШЛАРГА ИЛИМ БЕРИШГА УМРИНИ БАҒИШЛАГАН 
ФИДОКОР ОЛИМ, ВАТАНПАРВАР ИНСОН,
БИЛИМИ ЧЕКСИЗ УСТОЗИМИЗНИ ХОТИРАЛАБ...
ЎЗБЕКИСТОН РЕСПУБЛИКАСИ 
БЕРУНИЙ НОМИДАГИ ДАВЛАТ 
МУКОФОТИ СОҲИБИ, ХАЛҚ 
ТАЪЛИМИ АЪЛОЧИСИ,
ФИЗИКА-
МАТЕМАТИКА ФАНЛАРИ ДОКТОРИ, 
ПРОФЕССОР, АКАДЕМИК 
БАХОДИРХАНОВ МУХАММАД 
КАБИР САЙИДХОНОВИЧ

(1942-2021)

Баходирханов Мухаммад Кабир Сайидхонович 
1942 йил 17 августда таваллуд топди. 1959-1965 
йиллар Тошкент давлат университетининг “Физика” 
факультетини “Яримўтказгичлар ва диэлектриклар физикаси” мутахассислиги 
бўйича таҳсил олди. 1965 йили университетни муваффақиятли тугатганидан сўнг, 
Ленинград 
шаҳридаги 
Иоффе 
номидаги 
Физика-техника 
институтида 
“Яримўтказгичлар физикаси” соҳасида етук олим Борис Иосифович Болтакс 
раҳбарлигида номзодлик диссертациясини бажариб, 1971 йили ҳимоя қилди.1982 
йил докторлик диссертациясини СССР ФАнинг Ленинград шаҳридаги Физика 
техника институтда ҳимоя қилди. 
1971 йилдан Тошкент давлат университетининг “Яримўтказгичлар ва 
диэлектриклар физикаси” кафедрасида педагогик ва илмий фаолиятини бошлаган 
М.Баходирханов, қисқа вақтда тажрибали, моҳир устоз сифатида танилди ҳамда 
Тошкент шаҳрида “Яримўтказгич материалларда диффузион жараёнлар” илмий 
мактабга асос солди.
1985 йилдан Тошкент политехника институтида “Физикавий электроника” 
кафедраси мудири сифатида фаолият бошлаган Мухаммад Кабир Баходирханов 
физика соҳасида янги йўналиш ҳисобланган “Киришма атомлар билан 
компенсацияланган кремний материалининг электрофизик, фотоэлектрик, оптик ва 
галваномагнит хусусиятларини ўрганиш” бўйича илмий мактабини яратди. 
Мактабнинг биринчи тадқиқотчилари ўз навбатида соҳа бўйича етук мутахассис 
бўлиб етишдилар ва республикамизнинг Андижон, Самарқанд, Нукус, Қарши, 
Наманган шаҳарларидаги олий таълим муассасаларида илмий йўналишнинг 
давомчилари сифатида ўзларининг илмий мактабларини яратдилар. 
Мухаммад Кабир Баходирханов яримўтказгич материалларда киришма 
атомларнинг нанокластерларини ҳосил қилишнинг диффузион технологиясини 
кашф қилди. Олинган нанокластерли кремний материалда ташқи таъсирларга 
боғлиқ янги физик ҳодисалар кузатилди ва улар асосида кўпфункцияли физик 
катталикларни ўлчовчи датчикларни ясаш имкониятини асослаб берди. Бундан 
ташқари яримўтказгич кремний ҳажмида бинар нанокластерларни шакллантириш 

---