Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar II xalqaro ilmiy anjumani

 
Внешний 
вид 
установки 
УВР-3М.
Отличительной особенностью установки является возможность 
формирования многослойных покрытий в одной камере за один 
технологический цикл. Держатель подложек револьверного типа позволяет 
проводить напыление на 
6
подложек диаметром 76 мм. Подогрев подложек 
 
 

---

Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar

II xalqaro ilmiy anjumani 
 
19-20 noyabr 2021 yil 
623 
осуществляется радиационным подогревателем с тыльной стороны 
держателя подложек. Температура подогрева достигает 350 ℃. 
Держатель испарителей, также револьверного типа, позволяет 
использовать несколько прямонакальных испарителей, рассчитанных на ток 
до 100А в технологической последовательности напыления. Максимальное 
напряжение на испарителе - 10 вольт.
Вакуумная система установки состоит из высоковакуумного 
диффузионного паромасляного насоса Н-250 с азотной ловушкой и 
механического форвакуумного насоса. Диффузионный насос отделён от 
камеры высоковакуумным затвором. Измерение давления в камере 
осуществляется при помощи двух манометрических преобразователей: 
термопарного ПМТ-2 и ионизационного ПМИ-2, данные которых 
обрабатываются вакуумметром ВИТ-2. Остаточное давление в рабочей 
камере при работе диффузионного насоса с азотной ловушкой не более
5·10
-3
Па. 
Рабочая вакуумная камера представляет собой цилиндрический колпак 
из нержавеющей стали, который связан с подъемным устройством и может 
подниматься вверх для доступа к вакуумируемым объектам и подколпачным 
устройствам. В закрытом состоянии колпак герметизируется уплотняющей 
кольцевой прокладкой из вакуумной резины, расположенной в желобе 
колпака. Технологическая (рабочая) камера большого объема, охлаждаемая 
водой, позволяет подогревать и обрабатывать образцы больших размеров или 
несколько образцов одновременно. Для подачи в камеру рабочих газов 
установка оснащена натекателем.