Materialshunoslik va yangi materiallar texnologiyasi

2.1-rasm. Universal elektron mikroskopning umumiy ko‘rinishi. 
Universal elektron mikroskopda elektronlarning fokuslanish va struktura tasviri 
kattalashishi elektr magnit maydonlari yordamida o‘tqaziladi. Bu maydonlar maxsus magnit 
linzalar bilan vujudga keltiriladi. Ko‘rish maydoni diafragmasi, oraliq linza, stigmator oraliq 
linza va stigmator ob’yektiv linza hamda elektron magnit linzali elektron nurlari ob’yektivdan 
o‘tib chiqadigan elektron mikroskoplar eng keng tarqalgan. Bu mikroskoplarda o‘rnatilgan asbob 
tez harakatlanuvchi elektron moslamalardan iborat. 
Elektron mikroskoplarda namuna ob’yektining katta qismini yuzaga chiqarish 
elektronogrammasi (pichoqning aralashma burchagi 5-6
0
) va elektronogramma mikroqismi bilan 
(mikrodifraktsiyasi) ni olish mumkin. Maxsus ushlagichlar yordamida ob’yekt 
elektronogrammasi bilan metall namunalar yuza qismini olish. Ob’yektning yorug‘lik va 
qorong‘ulik maydonlari ko‘rinishini yuzaga chiqara olish. Stereoparalar ob’yekti bilan 
ishlaganda ularni yuzaga chiqara olish. 
Elektron mikroskopning ishlash va harakatlanish printsipi shunga asoslanganki, 
modulyatsiya elektron luchning intensivligi bo‘yicha namuna ob'yektining qalinligi va zichligiga 

---

162 
bog‘liqdir. Elektron mikroskopda tekshiriladigan har bir alohida maxsus tayyorlangan 
namunalar, aniq razmerlarda (davlat standartlari bo‘yicha) ko‘rsatilgan tartibda bo‘lishi kerak. 
Ana shundagina mo‘ljallangan ilmiy-tadqiqot yoki boshqa izlanish ob’yektlaridagi ishlar keng 
diapazonli kattalashtirishda amalga oshiriladi va o‘rganiladi. 
2.2-rasm. Elektron mikroskopning optik sxemasi: 
1-ko‘rish maydoni diofragmasi; 2-oraliq linza; 3-stigmator oraliq linza;
4-stigmator ob’yektiv linza; 5-ob’yektiv linza; 6-ob’yekt; 7-stigmatorikkinchi kandensator; 8-
diogframaning ikkinchi kandensatori; 9-diofragmaning birinchi kandensatori; 10-fokusli 
elektrod; 11-katod; 12-anod; 13-birinchi kandensor;
14-ikkinchi kondensor; 15-yorug‘lik; 16-ob’yekt stoli; 17-diafragma aperturasi; 18-diafragma 
selektori; 19-ob’yektivning yustirovka mexanizmi; 20-loyixalash 
linzasi; 21-ekran. 
Elektron mikroskopning printsipial optik sxemasi 2.2-rasmda keltirilgan. Fotoplastinka 
yoki fluorestsiruyushiy ekranga izlanayotgan ob’yekt qismining kattalashtirish ko‘rinishini uchta 
magnit linzalar yaratadi. 
Yorug‘lik sistemasi, kondensor bloki va elektron pushkasidan tashkil topgan bo‘lib, elektron 
puchokning (luchning) ko‘rinishini yaratadi. Anod va Venelta silindri elektrod fokusli, V-
ko‘rinishdagi katod, uchelektrodli elektron pushkaning elektron luchi manbai sifatida xizmat qiladi. 
Katod uzeliga Venelta silindri va ushlagich katodi mahkamlanadi, qaysiki u o‘z navbatida yuqori 
voltli izolyatorga mahkamlangan holda bo‘ladi. 
Elektron mikroskopning yorug‘lik sistemasi ikki juft elektro- statik prizma va uch juft 
elektromagnitlar yordamida bir-biriga boshqa tartibda joylashgan luch yo‘nalishi bo‘yicha 
ob’yektivga bog‘liq holda olib boriladi. 
Ob’yektning kattalashtirib ko‘rinishi - ob’yektiv linza yordamida amalga oshiriladi. 
Aylanma magnit prizmasi yordamida loyiha linzasi, oraliq linzasi va ob’yektivlarining 
yustirovkasi olib boriladi. 

---

163 
Tasvirning oxirgi ko‘rinishi fluorestsiruyuchiy ekranda va rasmplastinkasida suratga olish 
kuzatiladi. 
Elektron mikroskopning optik sxemasi - bu mavjud qismlarni yechish yoki yig‘ish uchun 
mo‘ljallangan ichi bo‘sh qismi bu kolonnadir (2.3-rasm). Kolonnaning bir uchida elektronlar 
manbai, ikkinchi uchida esa yorug’lik ekrani o‘rnatiladi. Elektronlar manbai va yorug’lik ekrani 
oralig‘ida eletromagnit linzalari joylashtiriladi: kondersorli, ob’yektivli, oraliq va proektsiyali 
linzalar. Elektron mikroskop normal yaxshi ishlashi uchun toza xavoni kolonnadan tortib olishi 
kerak (bosimi 10
-4 
mm gacha). 
Elektron mikroskopning kolonnasi (2.3-rasmga qarang) juda murakkab birlashgan oraliq 
bloklaridan tuzilgan: binokulyar mikroskopi, tubus rasm kamerasi bilan, proektsiya bloki, 
namunaning shlyuzli ob’yektivi, kondensor linzasi va elektron pushkasi. 
Ob’yektivli, kondensor, oraliq va proektsiya linzalarning kattalashtirish ko‘paytmasi 
elektron mikroskoplarning umumiy kattalashtirishi bo‘ladi. Bu ko‘paytma 1000 dan 100 000 
gacha kattalashib o‘zgarishi mumkin. Ob’yektivli linza yordamida fokuslash o‘tkazilsa, 
kondensor, oraliq va proektsiya linzalari yordamida esa kattalashtirishni o‘zgartirish mumkin 
bo‘ladi.