Conference Paper



Download 12,16 Mb.
Pdf ko'rish
bet303/342
Sana19.02.2022
Hajmi12,16 Mb.
#458955
1   ...   299   300   301   302   303   304   305   306   ...   342
Bog'liq
Kitob

 
Фойдаланилган адабиётлар: 
1.
Бабанский Ю.К. Методика предподавания физики в средней школе.
–М.: Просвещение. 1968. –199 с. 
2.
Кабардин 
О.Ф. 
Методические 
основы 
физического 
эксперимента.
Физика в школе. 1985. № 2. С. 3– 9. 
3.
Пёришкин 
А.В. 
Физика 
ўқитиш 
методикаси 
асослар.
– Т.: Ўқитувчи. 1990. – 320 б. 
4.
Юсупов 
А., 
Юсупов 
Р. 
Физикадан 
савол 
ва 
масалалар 
тўплами.
–Т.: Ўқитувчи. 2000. – 64б. 
СРАВНЕНИЕ ПАРАМЕТРОВ ГЕТЕРОЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СТРУКТУР 
ПОЛУЧЕННЫХ РАЗЛИЧНЫМИ МЕТОДАМИ
Ташатов А.К., Мустафоева Н.М.
Каршинский Государственный университет, г. Карши, Узбекистан
atashatov@mail.ru 
В данной работе всесторонные изучена структура и свойства гетеро 
эпитаксиальных и многослойных тонкопленочных систем, полученных методами 
термодиффузии, МЛЭ и ионной имплантации. Исследования проводились в 
сверхвысоковакуумном приборе, позволяющем проводить ионную имплантацию, 
термодиффузию, молекулярно-лучевую эпитаксию тонких пленок различных 
материалов, а также исследовать их электронную и кристаллическую структуру и 
свойства методами электронной спектроскопии [1].
Сравнительный анализ характеристик приборных структур, полученных 
различными методами в приборах микроэлектроники показал следующее: 
1.
 
Метод термодиффузии,
главным образом, используется для создания 
примесных уровней, за счет введения определенного количества примесей (обычно 
несколько процентов) в объем кристалла. При этом приповерхностная область 
кристалла оказывается очень обогащенной примесными атомами. Метод 
термодиффузии, заключающийся в реагенной диффузии примесных элементов в 
подложку в высоком вакууме, имеет следующие преимущества: 
а) простота оборудования и технологического процесса; 
б) возможность получения силицидных пленок и двухслойных систем в широком 
диапозоне толщин; 
в) сравнительно небольшая температура 900÷1300 К процесса. 
К недостатками следует отнести: 
а) невозможность контролируемого изменения фазового состава образующейся 
пленки; 
б) невозможность создания резкой границы между пленкой и подложкой, и между
слоями многослойных структур; 
в) сильная диффузия и перемещивание атомов, которые могут привести к 
нежелательным эффектам, например к изменению свойств подложки. 

Download 12,16 Mb.

Do'stlaringiz bilan baham:
1   ...   299   300   301   302   303   304   305   306   ...   342




Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©hozir.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling

kiriting | ro'yxatdan o'tish
    Bosh sahifa
юртда тантана
Боғда битган
Бугун юртда
Эшитганлар жилманглар
Эшитмадим деманглар
битган бодомлар
Yangiariq tumani
qitish marakazi
Raqamli texnologiyalar
ilishida muhokamadan
tasdiqqa tavsiya
tavsiya etilgan
iqtisodiyot kafedrasi
steiermarkischen landesregierung
asarlaringizni yuboring
o'zingizning asarlaringizni
Iltimos faqat
faqat o'zingizning
steierm rkischen
landesregierung fachabteilung
rkischen landesregierung
hamshira loyihasi
loyihasi mavsum
faolyatining oqibatlari
asosiy adabiyotlar
fakulteti ahborot
ahborot havfsizligi
havfsizligi kafedrasi
fanidan bo’yicha
fakulteti iqtisodiyot
boshqaruv fakulteti
chiqarishda boshqaruv
ishlab chiqarishda
iqtisodiyot fakultet
multiservis tarmoqlari
fanidan asosiy
Uzbek fanidan
mavzulari potok
asosidagi multiservis
'aliyyil a'ziym
billahil 'aliyyil
illaa billahil
quvvata illaa
falah' deganida
Kompyuter savodxonligi
bo’yicha mustaqil
'alal falah'
Hayya 'alal
'alas soloh
Hayya 'alas
mavsum boyicha


yuklab olish