B. A. Nazarbayeva

Sig‘imli  bosim  datchiklari. 

Sig‘imli  bosim  datchiklari  ham  kremniyli 

diafragmalar  asosida  amalga  oshiriladi.  Bunday  datchiklarda  diafragmaning 

tayanch plastinkaga nisbatan siljishi ular o‘rtasidagi sig‘imni o‘zgartiradi. Sig‘imli 

---

294 

 

datchiklar  unchalik  yuqori  bo‘lmagan  bosimlarda  ko‘proq  samarali  ishlaydi. 

Kremniy  kristallaridan  tayyorlangan  monolit  sig‘imli  bosim  datchiklari  ishchi 

tavsiflarning  maksimal  barqarorligi  bilan  ajralib  turadi.  Diafragmaning  siljishi 

keng  qiymatlar  diapazonida  sig‘imning  25%  ga  o‘zgarishini  ta’minlashi  mumkin, 

bu  o‘lchashlarning  natijalarini  to‘g‘ridan-to‘g‘ri  raqamlashtirish  imkonini  beradi. 

Pyezorezistiv  datchiklarda  foydalaniladigan  diafragmalar  uchun  chekkalarda 

maksimal  mexanik  kuchlanganlikni  ta’minlash  zarur  bo‘lgani  holda,  sig‘imli 

datchiklardagi diafragmalar uchun ularning markaziy qismining siljishi ahamiyatli 

bo‘ladi.  Sig‘imli  datchiklarda  diafragmalar  oshiqcha  bosimdan  diafragmaning  har 

ikkala  tomonidan  mexanik  cheklagichlar  yordamida  himoya  qilingan  bo‘lishi 

mumkin 

(differensial 

bosim 

datchiklarida). 

Pyezorezistiv 

datchiklarda 

siljishlarning  unchalik  katta  bo‘lmasligi  sababli  himoyalashning  bunday  usuli, 

taassufki,  etarlicha  samarali  bo‘lmaydi,  shu  sababli  ular  uchun  uzilish  bosimi 

aniqlanadi,  u  maksimal  o‘lchanadigan  bosimdan  10  marta  katta  bo‘ladi,  mexanik 

cheklagichlarga  ega  bo‘lgan  sig‘imli  datchiklar  uchun  bu  kattalik  100  martaga 

oshiq bo‘ladi. Bu ayniqsa past bosimlar sohasida ishlashda muhim bo‘ladi.  

 

Sig‘imli  datchiklarning  yaxshi  chiziqliligini  ta’minlash  uchun  diafragmalar 

markaziy  qismida  tekis  yuzaga  ega  bo‘lishi  zarur.  Sig‘imli  datchiklar  faqatgina 

diafragmalarning  siljishi  ularning  qalinligiga  qaraganda  anchagina  kichik 

bo‘lganda  chiziqlilikka  ega  bo‘ladi  deb  hisoblanadi.  Chiziqlilikni  yaxshilash 

usullaridan  biri  mikrotexnologiyalar  uslublari  bilan  tayyorlangan  gofrilangan 

diafragmalardan foydalanish bo‘lib hisoblanadi. Planar diafragmalar odatda xudda 

o‘sha  o‘lcham  va  qalinlikdagi  gofrilangan  diafragmalarga  qaraganda  yaxshiroq 

tenzosezgirlikkaega bo‘ladi. Biroq tizimda yassi cho‘zuvchi kuchlanishlar mavjud 

bo‘lganda  gofrilangan  diafragmalarning  bukilgan  joylari  ularni  anchagina 

zaiflashtiradi.  Bu  bunday  datchiklarning  chiziqliligi  va  sezgirligining  anchagina 

yaxshilanishiga olib keladi.