O’zbekiston respublikasi oliy va o’rta ta’lim vazirligi toshkent irrigatsiya va qishloq xo’jaligini mexanizatsiyalash muhandislari instituti

3. IONLI SINGDIRISH USULI 
68 
3.1. Ionli singdirish usulining fizikaviy asoslari 
68 
3.2. Singdirilayotgan qo‟shimchalarni taqsimlanishiga singdirish rejimlarning 
ta‟siri 
 
71 
3.3. Ionli singdirish qurilmalari 
74 
3.4. Ion singdirilgan yuzalarning fizik-kimyoviy va mexanik xossalari 
76 
3.5.Ionli singdirish usuli bolan yuzalarni ishlash texnologiyalar 
78 
3.6.  Ionli  singdirish  (implantatsiya)  kesuvchi  asbobning  turg‟unligini 
oshiruvchi usulidir 
 
81 
3.7.  Ko‟p  qatlamli  qoplamalar  olishining  ion-vakuumli  kombinatsiyalangan 
usullari 
 
82 
3.8.Ionli implantatsiya jarayonida amorf strukturalarni shakllanishi 
84