9.2 rasm. Kimyoviy reagentlar katta diffuziya tezligi bilan yetib keladi.
Kremniy uchun yo‘nalishga bog‘liq bo‘lgan yemirgichlar ishqorlarning suvdagi
eritmalari va gidrazin gidrat (NH
2
)
2
H
2
O misol qilish mumkin. Bu yemirgichlar
uchun faollashish energiyasi: suvdagi 10 % li eritmasi uchun13 kkal/mol NaOH ni
tashkil etadi. Gidrazin gidrat uchun esa faollashish energiyasi 6-10 kkal/mol ga teng.
Bu yemirgichlarda [100] yo‘nalish [111] yo‘nalishga nisbatan bir necha o‘n
marta tezroq yemiriladi. Masalan [100] yo‘nalishli kremniy plastinkasini yemirish
natijasida V - shakldagi chuqurlik yuzaga keladi. Bu chuqurlik ISlarni tayyorlashda
izolyatsiyalangan sohalar hosil qilishda ishlatiladi.
Do'stlaringiz bilan baham: |