Yarim o’tkazgichli plastinka sirtiga kimyoviy ishlov berish Sirtdagi kirlar miqdori (kontsentratsiyasi) yarim o‘tkazgichli asboblar va IS larning
parametrlari turg‘unligiga ta‘sir qilmagan holdagina sirt texnologik toza deyiladi.
Plastinka sirtini tozalashning fizik usullari:
-ultratovushli tozalash;
-kirlarni oquvchi suyuqlikda cho‘tkalar bilan yuvish;
-gaz oqimini purkab tozalash (toza azot gazida );
-ionlar va elektronlar oqimi bilan bombardirovka qilish;
- plazma muhitida ionlar bilan ishlov berish;
-vakuumda yoki inert muhitda yuqori haroratda qizdirish.
Kimyoviy tozalash usullari:
- iflosliklarni eritib yuborish;
- kirlangan plastinkaning yupqa sirt qatlamini eritib ketkazish.