O’zbekiston respublikasi oliy va o’rta ta’lim vazirligi toshkent irrigatsiya va qishloq xo’jaligini mexanizatsiyalash muhandislari instituti

7.3 VPT usuli bilan qoplamani yotqizish uchun qurilmalar 
 
Hozirgi  kunda  VPT  texnologiyalar  asosida  ishlaydigan  vakuum-plazmali 
qurilmalarning  turlari  mavjud,  ularning  asosiy  ko‟rsatkichlari  7.2  jadvalda 
keltirrilgan. 
Ulardan  eng  takomillashganlari  –  Bulat  6  va  ННВ  6,6-И1  lar.  Oxirgi 
qurilma  elektrotexnik  qurilmalar  ilmiy-tekshirish  institut  (ВНИИЭТО)  da 
loyihalangan.  ННВ6,6-И1  uchta  elektr  yoyli  bug‟lagichdan,  katod  dog‟ini 
elektrmagnitli  stabilizatordan  va  plazma  dog‟ini  plazmooptik  fokuslaydigan 
moslamalardan tashkil topgan.  ННВ6,6-И1  ning  elektr qismi  qurilmani  tok bilan 
ta‟minlaydi,  uning  ishini  nazorat  qiladi  va  boshqaradi  va  payvandlash 

---

140 
 
to‟g‟irlagichlardan,  transformatorlardan,  kuchlanish  rostlagichdan,  boshqarish 
shkafidan tashkil topgan.   
Hamma  qurilmalarda  kameradagi  qoldiq  bosimni  ishchi  gazni  beruvchi  
avtomatik  vakuum  tizim  hosil  qiladi  va  rostlaydi.  Detallarning  temperaturasi 
«СМОТРИЧ» pirometrik tizim yordamida nazorat qilinadi.  
 
VPT 
usulini 
amalga 
oshirish 
qurilmalari                                                         
7.2 jadval 
Qurilma 
U
p
,nm/s  τ
p
⸱10
2
,s 
Т
b
,
0
C 
n
b
,dona 
Kamera 
o‟lchamlari,mm 
N, 
kVt 
D 
H 
Pusk 79-1 
1,3-1,6 
1,2-1,6  330-800 
1 
360 
450 
40 
Pusk 83 
1,3-1,6 
- 
330-800 
1 
200 
300 
15 
Bulat 3T 
1,2 
10,5 
330-800 
3 
900 
500 
60 
Bulat 6 
8-10 
10,8 
330-800 
3 
- 
- 
- 
ННВ 6,6-
И1 
3-9 
- 
330-800 
3 
600 
600 
- 
 
U
p
 – qoplamani yotqizish (purkash) tezligi,  τ
p
 – jarayonni to‟liq vaqti, Т
b
 – 
buyum  temperaturasi 
0
C,  n
b
  –  bug‟largichlar  soni,  D  –  kameraning  diametri,  H  – 
kameraning balandligi,  
N – qurilmaning quvvati.  
Quyidagi  qurilma  qalin  (500  mkm  gacha)  nanostrukturalangan  gaz 
o‟tkazmaydigan,  issiqlikni  qaytaruvchi    ximoya  qoplamalarni  yiqori 
temperaturalarda,  agressiv  muhitlarda  ishlaydigan  aviatsiyada,  raketalarda 
qo‟llaniladigan  quvvati o‟ta yuqori energetik qurilmalarning detallariga yotqizish 
uchun mo‟ljallangan.  
Qurilma  oltita  qoplamalarni  yotqizish  va  ikkita  buymlarni  ionli  tozalash  va 
qizdirish  uchun  plazma  manbayilar  bilan  ta‟minlangan.  Plazma  manbayilar 
magnitli va magnitli bo‟lmagan katodlar bilan ishlashi mumkin. 
 
 
7.4 rasm. ННВ-6.6М rusumli qoplamalarni purkab yotqizish qurilmasi 

---

141 
 
 
Sanoatda qoplamali asboblarni, ayniqsa tezkesar po‟latli qoplamalarni ishlab 
chiqishda VPT usuli keng qo‟llaniladi.  
 
  
 
7.5 rasm. Qoplamalarni yirik shakli murakkab buyumlarga yotqizish 
qurilmasi