O’zbekiston respublikasi oliy va o’rta maxsus ta’lim vazirligi o’rta maxsus kasb-hunar ta’limi markazi

Qarshilik manometrlarining
ishlash printsipi sezgir element qarshiligining 
tashqi bosim ta`sirida o`zgarishiga asoslangan. Sezgir elementlar qatoriga manganin, 
platina, konstantan, vol’fram, yarimo`tkazgich va hokazolar kiradi. Qarshilik 
manometrlarida qo`llash uchun eng qulayi manganindir. Manganin 
R

elektr
qarshilik orttirmasining
R
bosimga nisbatan chiziqli bog’lanishiga ega: 
R

= 
P
R
K
p
*
*
. (3.10) 
Bunda: 
K
p
— manganin karshiligining o’zgarish koeffitsienti,1/Pa; 
R— qarshilik, Om. 
Manganin qarshiligining chiziqli bog’lanishi tajriba ma`lumotlaridan 3000 mPa 
bosimgacha tasdiqlanadi. Bundan tashqari, manganin elektr qarshiligining 
temperatura koeffitsienti juda kichik. O`zgartgich sezgirligining kichikligi bu 
manometrlarni juda yuqori (100 mPa dan ortiq) bosimlarni o’lchash uchun 
qo`llashga yo`l qo`ymaydi. Manganin uchun K
p
= 22,95-10
2

dan 24,61-10
2

1/Pa 
gacha. 
O`zgartgichdagi manganin qarshiligini o`lchash uchun, odatda, ko`priklar, aniq 
o`lchovlar uchun esa potentsiometrlar qo`llaniladi. Manganin qarshilikli 
manometrlarning yo`l qo`yadigan asosiy xatosi ± 1 % dan oshmaydi. 
Asbobsozlik sanoatida chiqarilayotgan MM-2500 manganinli manometrlar 
2500 mPa gacha bosimni o`lchaydi. 
YArimo`tkazgichli datchiklarning p’ezokoeffitsienti manganinnikidan ming 
marta ortiq, lekin datchiklar qarshiligining bosimga bo`lgan bog’lanishi 
nochiziqlidir. Bundan tashqari, katta miqdordagi gisterezis mavjud bo`lib, 
temperatura ham o`z ta`sirini ko`rsatadi. YArimo`tkazgichli qarshilik datchiklari 
mexanik jihatdan pishiq emas, ular 10 mPa dan ortiq bosimlarni o`lchashga 
yaroqsiz. 
Elektr qarshilik usuli bo`yicha bosimni o`lchashda sezgir element sifatida 
tenzodatchiklar qo`llaniladi. Tenzometrning ishlash printsipi kuch yoki unga 

---

93 
mutanosib bo`lgan deformatsnyani deformatsiyalangan jismga yopishtirilgan sim 
qarshilngining o`zgarishiga aylantirishdan iborat. 
Sezgir element detaliga yopishtirilgan tenzodatchiklar o`lchanayotgan bosim P 
ni elektr qarshilik o`zgarishi bilan sezadi. Bu tenzosezgirlik koeffitsienti 
T
K
bilan 
baholanadi: 
l
l
R
R
K
T
/
/



(3.11) 
bunda 
R
R
/

— tenzometr qarshiligining nisbiy o`zgarishi; 
l
l
/

— simning 
nisbiy deformatsiyasi; 
T
K
— koeffitsient qiymati metallar uchun 0,5 ... 4,0 
chegarasida bo`ladi. 
YUqori metrologik va foydalanish xarakteristikalariga ega bo`lgan 
tenzorezistorli bosimni o`lchash o`zgartkichlari bir qator afzalliklariga ko`ra: gabarit 
o`lchamlari va massasi kichik, vaqt bo`yicha yuqori darajada barqaror, aniqligi 
yuqori, tebranishga chidamliligi turli agressiv muhitlar bilan kontaktda ishlashi 
mumkinligi, uchqunga havfsiz qilib ishlaganiga ko`ra yanada kengroq tarqalmoqda. 
Avtomatik nazoratning sanoat sistemalari uchun va o`zgarmas tokning (0...5; 0...20 
yoki 4...20 mA) standart chiqish signallari bilan ishlovchi mikroprotsessor texnikasi 
asosidagi TJABS tarkibidagi sistemalari uchun Sapfir seriyasidagi elektr o`lchov 
tenzometrik o`zgartknchlari kompleksi ishlab chiqarilmoqda: odatdagicha ishlangan 
Sapfir-22 va portlashdan himoyalangan turdagi Sapfir-22 Ex. O`zgartkichlarning 
aniqlik sinfi 0,25 va 0,5. 
Sapfir seriyasidagi o`lchov o`zgartkichlar kompleksi mutlaq va ortiqcha 
bosimni, siyraklanishi, shuningdek suyuqlik va gazlarning sarflanishini, kimyoviy 
aktiv, qovushoq va kristallanuvchi suyuqliklarning satxini, suyuq muhit zichligini va 
bosim bilan bog’liq boshqa kattaliklarni keng doirada nazorat qilishga imkon
beruvchi datchiklar qatoriga kiradi. 
Sapfirning ishlash printsipi kremniyning geteroepitaksial plyonkalaridagi 
tenzoreszistiv effektdan foydalanishga asoslangan. O`lchanayotgan parametrning 
ta`siri texnoplyonkali yarim o`tkazgichli tenzorezistorli sezgir elementni 
deformatsiyalaydi. 
Tenzorezistorlar 
dsformatspyasi 
natijasida 
qarshilikning 
o`zgarishi elektron qurilmalar yordamida me`yorlashtirilgan tokli chiqish signaliga 
aylanadi. 
Sapfir-22 o`zgartkich komplekti kuchaytiruvchi qurilmasi bo`lgan o`lchov 
blokidan va manba blokidan iborat. Sezgir element deformatsiyasi, o`lchanayotgan 
parametrning mutanosib kattaligi kremniyli tenzorezistorlarning qarshiligini 
o`zgartiradi. elektron qurilma qarshilikning bu o`zgarishini o`zgarmas tokning 
me`yorlashtirilgan chiqish signaliga almashtiradi. 

---

94 
3.8. Sapfir-22 DD-Ex bosimlar farqini o’lchovchi o’zgartkichning sxemasi 
3.8- rasmda Sapfir-22 DD-Ex bosimlar farqini o`lchovchi o`zgartkichning 
sxemasi ko`rsatilgan. Tenzoo`zgartkich 4 metall membranadan iborat bo`lib, unga 
yuqori tomondan nomuvozanat ko`prikning elkalarini tashkil etuvchi to`rtta 
kremniyli tenzorezistorlar bilan changlatilgan sapfirli membrana kavsharlangan. 
Tenzoo`zgartkich 2 asosga mahkamlangan va o`lchanayotgan muhitdan ikkita 
ajratuvchi metall membranalar 1 va 3 bilan bo`lingan. Termoo`zgartkich va 
membranalar orasidagi berk bo`shliqlar polimetilsiloksanli suyuqlik bilan 
to`ldirilgan. Bosimlarning o`lchanuvchi farqi P
1
— P
2
— tenzoo`zgartkichlarga aytib 
o`tilgan membranalar va suyuqliklar orqali ta`sir qiladi. Tenzoo`zgartkich germetik 
chiqishlar 5 orqali kiritilgan elektron qurilma 6 ga ulanadi. SHu qurilma yordamida 
tenzorezistorlar qarshiligining o`zgarishi me`yorlashtirilgan tokli chiqish signaliga 
almashadi, u masofadan turib uzatish uchun havfsiz uch o`tkazgichli liniya bo`yicha 
ta`minot bloki 7 ga uzatiladi. Ta`minot bloki portlashga havfsiz xonaga o`rnatiladi 
va birlamchi o`zgartkichning ikki o`tkazgichli liniya bo`yicha ta`minotini 
ta`minlaydi. SHu liniyaning o`zidan chiquvchi tokli signal uzatiladi. Ko`rsatilgan 
vazifa bilan bir qatorda ta`minot bloki chiqish signalining quvvatini tashqi R
n
yuklanishni ulash uchun zarur sathgacha oshiradi va chiqish signalining berilgai 
qiymatini shakllantiradi (0...5, 0...20 yoki 4...20 mA). Ortiqcha bosimli mutlaq 
bosimli va siyraklanish tenzorezistorli o`zgartkichlarda qarab chpqilganlarga 
o`xshash, o`lchov bloklaridan foydalaniladi. Farqi shundaki, o`lchovchi o`zgartkich, 
ob`ektga «plyusli kamera» bilan ulanadi, «minusli kamera» orqali esa atmosfera 
bilan ulanadi. Mutlaq bosimni o`lchovchi o`zgartkichlarda minusli kamera 
vakuumlangan. 
Ortiqcha bosimni, siyraklashish va bosimlar farqini o`lchaydigan tenzorezistorli 
o`lchovchi o`zgartkichlarning aniqlik sinflari 0,6; 1,0; 1,5. O`lchash oraliqlari: 
ortiqcha bosimniki —0...10
-3
dan 0...60 MPa gacha; siyraklanish —1...0 dan —10...0 
kPa gacha; mutlaq bosimniki 0...2,5 kPa dan 0...2,5 MPa gacha; bosimlar farqi 0...1 
KPa dan 0...2,5 MPa gacha.