Microsoft Word уп-пленки doc

Глава 2. РАЗНОВИДНОСТИ ПРОЦЕССА ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО 
НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК……………………………………………………16 
2.1.Устройства катодного распыления на постоянном токе……………….17 
2.2.Триодные устройства ионно-плазменного нанесения………………….18 
2.3.Устройства высокочастотного распыления……………………………..19 
2.4.Магнетроннные распылительные системы……………………………...20 
2.5.Ионно-лучевое распыление………………………………………………23 
Глава 3. ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ НАНЕСЕНИЕ ПЛЕНОК………...24 
3.1.Механизм плазмохимического осаждения пленок……………………..24 
3.1.1.Осаждение пленок металлов…………………………………………...25 
3.1.2.Осаждение неорганических диэлектрических пленок……………….26 
3.2.Осаждение тонких полимерных пленок………………………………...29 
Глава 4.ИОННО-ЛУЧЕВОЕ ОСАЖДЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК…...30 
4.1.Осаждение тонких пленок из ионных пучков…………………………..30 
4.2.Реактивный ионно-лучевой синтез тонких пленок……………………..32 
Контрольные вопросы………………………………………………………33 
Литература........................................................................................................35