Microsoft Word уп-пленки doc

4.2. Реактивный ионно-лучевой синтез тонких пленок 
Реактивный ионно-лучевой синтез это метод нанесения пленок из 
пучков молекулярных ионов химически сложных веществ. 
Например, алмазоподобные углеродные пленки осаждают из пучков 
ионов углеводородов (циклогексан) или других органических соединений 
(ацетон, пропанол). При конденсации углеводородных ионов часть их 
кинетической энергии расходуется на разрыв С – С и С – Н связей в 
исходном материале. Поскольку энергия связей по порядку величины 
меньше кинетической энергии ионов, то очевидно, что при ударе о 
поверхность в молекулярном ионе происходит полный разрыв связей с 
последующим торможением атомов в поверхностных слоях. Осаждение из 
пучка молекулярных углеводородных ионов приводит к образованию 
аморфных пленок, дополнительным компонентом состава которых 
является водород. Эти пленки являются алмазоподобными, причем доля 
тетрагональных связей атомов углерода составляет до 70 ат.%. Скорость 
осаждения алмазоподобных пленок из пучков ионов циклогексана 
практически линейно зависит от плотности тока пучка, что позволяет с 
высокой точностью контролировать процесс нанесения покрытия и общее 
количество осаждаемого вещества. 
Кремнийсодержащие углеродные покрытия были получены из 
пучков ионов кремнийорганических соединений: гексаметилдисилазана
[(CH
3
)
3
Si - ]
2
NH и винилтриметоксисилана CH
2
=CHSi(OCH
3
)
3
. Тонкие 
пленки, полученные осаждением из пучков ионов этих соединений 
являются многокомпонентными покрытиями, основу которых составляет 
Si – C матрица. 
В 
зависимости 
от 
типа 
применяемого 
кремнийорганического соединения образуются оксикарбид кремния SiCO 
или карбонитрид кремния SiCN. Кремнийсодержащие углеродные пленки
можно использовать в качестве просветляющего покрытия для элементов 
солнечной батареи, поскольку оптические параметры этих пленок 
удовлетворяют требованиям к таким покрытиям.

---

32