Microsoft Word уп-пленки doc

---

МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ
ФЕДЕРАЦИИ 
 
Федеральное агентство по образованию 
 
Московский государственный институт электроники и математики 
(Технический университет) 
 
 
 
 
 
 
 
Ф.И.ГРИГОРЬЕВ 
 
 
ОСАЖДЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК ИЗ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ 
ПЛАЗМЫ И ИОННЫХ ПУЧКОВ В ТЕХНОЛОГИИ 
МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ 
 
 
 
Утверждено Редакционно-издательским советом Московского 
государственного института электроники и математики
в качестве учебного пособия 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
Москва 2006 
 
 
 
 

---

1
УДК 621.793 
ББК 22.379 
Г83 
 
Рецензенты: д-р техн. наук, проф. А.С.Лилеев (зав. каф. физического
материаловедения МИСиС), 
канд. техн. наук, доц. Н.А.Чарыков (каф.
полупроводниковой электроники МЭИ). 
Григорьев Ф.И. 
Г83 Осаждение тонких пленок из низкотемпературной плазмы и
ионных пучков в технологии микроэлектроники: Учебное пособие / 
Моск. гос. ин-т электроники и математики. М., 2006.
ISBN 
В пособии изложены физические основы процессов ионно-
плазменного нанесения тонких пленок. Рассмотрены разновидности 
процесса ионно-плазменного и плазмохимического нанесения пленок. 
Кратко рассмотрено ионно-лучевое осаждение металлических и 
алмазоподобных углеродных пленок. 
Пособие предназначено для студентов специальности 200100 по 
дисциплине «Физические основы ионно-плазменной технологии».