Izotermal va lazer tavlashda

---

BIR KRISTALLI KREMNIYNING SIRTIY O'ZGARISHLARI
IZOTERMAL VA LAZER TAVLASHDA
izotermik ta'sirida bir kristalli kremniyning sirtini o'zgartirish va
UDC 536.4: 621.373.826:546.28
dislokatsiyalarning qayta taqsimlanishiga va oksidli plyonka hosil bo'lishiga.
Optik va atom kuch mikroskopiyasi, fraktal analiz usullari o'rganilgan
lazer bilan ishlov berish. Aniqlanishicha, lazer bilan tavlanish kremniy yuzasiga kirib borishi va unda davriy tuzilmalarning paydo
bo'lishiga olib keladi, izotermik tavlanish esa
Kalit so'zlar: bir kristalli kremniy, izotermik tavlanish, lazer bilan tavlanish,
dislokatsiya, davriy tuzilmalar, oksidli plyonka.
kremniyning massa va sirt tuzilishi
kristallning yuqori haroratda qolishi, chunki lazer
zarbasining davomiyligi lazer dizayni va
Monokristalli kremniy quyidagilardan biridir
Ushbu ishning maqsadi monokristalning sirtini
modifikatsiya qilish xususiyatlarini ochib berishdir
Bu ishda qiziqish uyg'otdi
kremniy yuzasi, atrofida esa
kislorod va kremniy dioksidi bilan reaksiya hosil
bo'ladi. Termal stresslar
kremniy (MC) xususiyatlariga sezilarli darajada bog'liq
sirt atomlarining harakatchanligini oshirish
cho'kmalar (termal donorlar) [1, p. 42–46]. Da
ta'sirlar.
va kremniy substratning tuzilishi, xususan, uning
yuzasi sifati bo'yicha. MC sirtining sifati uning
pürüzlülüÿü bilan belgilanadi.
silikon 900-1420 ° S plastiklik oralig'ida
materiya sovuq bo'lib qoladi. paydo bo'layotgan
Issiqlik bilan ishlov berish turlaridan biri lazer
nurlanishidir. Lazer nurlanishi juda aniq
Ma'lumki, issiqlik bilan ishlov berishning harorat,
isitish va sovutish tezligi, ta'sir qilish muddati, tashqi
muhit kabi parametrlari noaniqlikka olib kelishi
mumkin.
yuzalar - mexanik, kimyoviy, termal, elementar
zarralar tomonidan bombardimon qilish va boshqalar
- noaniqlikni keltirib chiqaradi.
uning sirpanish tekisligi va chiqishi mumkin
yuqori sovutish tezligini aniqlaydi, bu esa yuqori
haroratning qattiqlashishiga yordam beradi
Shunday qilib, haroratda uzoq muddatli isitish
MC sirtini termal ta'sir ostida o'zgartirish
xususiyatlarini ko'rib chiqing. Haroratni davolash
o'zgarishga olib keladi
va mahalliy ta'sir, yuqori harorat va "isitish-sovutish"
tezligini ta'minlaydi. Impulsli lazerni qayta
ishlashning o'ziga xos xususiyati qisqa muddatdir
Kirish
bir xil izotermik1
va mahalliy lazer ta'sirida kremniy
nuqta nuqsonlarining shakllanishi va tarqalishi,
dislokatsiyalarning harakatlanishi va ko'payishi tufayli;
800 °C dan yuqori haroratlarda silikon kiradi
odatda 10 3 10 15s oralig'ida. Kuchli yorug'lik nuri
mahalliy isitishni ta'minlaydi
zamonaviy mikroelektronikaning eng talab
qilinadigan materiallari. Monokristalga asoslangan
qurilmalarning samaradorligi
MC ning tuzilishi va sirtidagi o'zgarishlar.
Natijada, yuqori harorat gradienti
dislokatsiyalar, egizaklar va past burchak
chegaralarining paydo bo'lishiga olib keladi. Harorat
gradienti ta'sirida dislokatsiyalar o'tadi
tew, sirt qatlamlarining kristall mukammalligi va
ularning fizik-kimyoviy tozalik darajasi. Sirtning
pürüzlülüÿü - ishlov berish jarayonlarining ta'siriga
"javob". Har xil turdagi qayta ishlash
450-600 ° S kislorod hosil bo'lishiga olib keladi
yagona kristall hajmidan sirtgacha, uning
topologiyasini aniqlash [2, p. 491-497].
lazer ta'siri tugagandan so'ng kremniyning holati
[3, p. 84–125].
silikon sirtini o'zgartirish.