Izotermal va lazer tavlashda

Natijalar va uning muhokamasi
500, 700 ° S da tavlanishlar DF qiymatining
pasayishiga olib keladi. da tavlangandan keyin
izotermik tavlanishlar DF qiymatining
o'zgarishiga olib keladi. Shunday qilib, tavlanish da
Harorat effekti
Har bir holat uchun fraktal o'lcham
6500 gacha.
atom kuchi mikroskopiyasi (SMM2000) va
MC sirtining relyefi. 300 ° C da tavlanish zichlikning
biroz oshishiga olib keladi
dislokatsiya klasterlari zonalari paydo bo'ladi
800 °C, fraktal o'lchamga ega
900 ° S da tavlanish DF qiymatining keskin
oshishiga olib keladi (1-rasm).
MK sirtini o'zgartirish
haroratlar 300, 500, 700, 800, 900 ° S. Keyin
± 0,00001 xatolik bilan besh fraktal o'lchov.
qo'pol oksid hosil bo'lishiga olib keladi
Mikron darajasida bu aniqlandi
dislokatsiya klasterlari. klaster ma'lumotlari
fraktal tahlil (dasturiy ta'minot funktsiyasi
dislokatsiyalar. Kremniy kristalli qizdirilganda, unda
strukturani uzatuvchi termal faollashtirilgan
jarayonlar sodir bo'ladi.
300 ° C FR qiymatining oshishiga olib keldi,
Fraktal tahlil usuli dastlabki va tavlangan
kremniyning bir qator AFM tasvirlarini olishdan
iborat edi.
O'rganilayotgan material sifatida qalinligi 0,5
mm bo'lgan parchalanish plitalari shaklidagi yagona
kristalli yarim o'tkazgichli kremniy ishlatilgan. Lazer
nurlanishidan oldin o'lchami 1 sm2 gacha bo'lgan
plitalar ultratovushli vannaga joylashtirildi va spirt
bilan ishlov berildi.
500 va 700 ° C haroratda ushlab turish paytida
dislokatsiya to'plarining zichligi pasayadi va
kamroq erkin energiyaga ega bo'lgan holat. Bunday
jarayonlar lavabo tufayli amalga oshiriladigan
kremniyning strukturaviy mukammalligini oshiradi
monokristalli kremniyda
termal stresslar. 900 °C da tavlanish
Silikon plastinalarni harorat bilan ishlov berish
laboratoriya quvurli SUOL 0,25 elektr pechida bir
soat davomida havoda amalga oshirildi.
qiymatlarni o'rtacha hisoblash yo'li bilan olinadi
uning minimal qiymati, esa
300–900°S da tavlanish vaqtida u bir
vaqtning o'zida ikki darajada nazorat
qilingan: optik mikroskop yordamida
“mezolevel”; va atom kuch mikroskop
yordamida "mikro darajada" va
Optik mikroskopiya ma'lumotlariga ko'ra,
mezol darajasida quyidagi o'zgarishlar sodir bo'ladi
issiqlik bilan ishlov berish namunalari optik
mikroskop (MIM 8) yordamida tekshirildi;
qobiq, deyarli butunlay kremniy sirtini qoplaydi (2-
rasm).
VESTNIK OSU ÿ9 (145)/2012 yil sentyabr 97
Machine Translated by Google

---

tavlanish paytida silikon 900 °C
kremniy; C) kremniy eritmasidagi konsentrik tuzilmalar
Shakl 2. Sirtdagi oksidli qobiq
A) mezol sathi ×200; C) mikrodaraja ×40000
Rasm 3. A) 1000 impulsda nurlanish zonasining umumiy ko'rinishi; C) eritmadagi to'lqinsimon tuzilmalar