Исследование и разработка лазерной технологии модификации электрофизических характеристик системы кремний диоксид кремния



Download 12,44 Mb.
Pdf ko'rish
bet39/42
Sana23.02.2022
Hajmi12,44 Mb.
#169857
TuriИсследование
1   ...   34   35   36   37   38   39   40   41   42
Bog'liq
4 - Дисертация

G.Bakradze.
Low-K factor of SiO

layer on Si irradiated by YAG:Nd laser // 
Journal of Non-Crystalline Solids. – 2007. – Vol.353, N. 5-7. – P.703-707. 
53. Skvortsov A.M., Veiko V.P., Sokolov V.I., Pham Qung Tung, Khaletsky R.A. 
Laser modification of thermal oxide films on silicon// International conference 
“Fundamentals of laser assisted micro- and nanotechnologies” (FLAMN-10): 
Abstracts. 2010, p. 103.
54. Заботнов С.В., Остапенко И.А., Головань Л.А., Тимошенко В.Ю., 
Кашкаров В.К., Шандыбина Г.Д. Генерация третьей гармоники от 
поверхности кремния, структурированной фемтосекундными лазерными 
импульсами. // Квантовая электроника. 2005. Т. 35. №10. С. 943-946. 
55. Остапенко И.А., Заботнов С.В, Шандыбина Г.Д., Головань Л.А., Червяков 
А.В., Рябчиков Ю.В., Яковлев В.В., Тимошенко В.Ю., Кашкаров В.К. Микро – 
и наноструктурирование поверхности кристаллического кремния под 
действием фемтосекундных лазерных импульсов. // Известия РАН: Серия 
физическая, 2006. Т. 70. №9, С. 1315-1317.


139 
56. Yanhua Han, Shiliang Qu. The ripples and nanoparticles on silicon irradiated 
by femtosecond laser // Chemical Physics Letters, v. 495, p. 241-244, 2010. 
57. H. W. K. Tom, G. D. Aumiller, C. H. Brito-Cruz. Time-resolved study of laser-
induced disorder of Si surfaces // Phys. Rev. Lett., v. 60, p. 1438–1441, 1988. 
58. P. Saeta, J.-K. Wang, Y. Siegal, N. Bloembergen, E. Mazur. Ultrafast electronic 
disordering during femtosecond laser melting of GaAs // Phys. Rev. Lett., p. 67, p. 
1023–1026, 1991
59. S. Notle, C. Momma, H. Jacobs, A.Tunnermann, B.N. Chichkov, B. 
Wellegehausen, H. Welling «Ablation of metals by ultrashort laser pulses», J. Opt. 
Soc. Am. B, Vol. 14, p. 2715 – 2722, 1997. 
60. T.H.Her, R.J.Finlay, C.Wn, E.Mazur. Femtosecond laser-induced formation of 
spikes on silicon. Appl.Phys.A., v. 70, p.383 - 385, 2000.
61. Z.A.K. Durrania, M.A. Rafiqc. Electronic transport in silicon nanocrystals and 
nanochains // Microelectronic Engineering. – 2009. – V.86, N. 4-6. – P. 456-466. 
62. М.Д. Ефремов, Г.Н. Камаев, В.А. Володин, С.А. Аржаникова, Г.А. 
Качурин, С.Г. Черкова. Кулоновское блокирование проводимости пленок 
SiO
x
при одноэлектронной зарядке кремниевой квантовой точки в составе 
цепочки электронных состояний // ФТП. – 2005. – том 39, вып. 8. – стр. 
945-953.
63. V Ioannou-Sougleridis and A G Nassiopoulou. Charging characteristics of Si 
nanocrystals embedded within SiO
2
in the presence of near-interface oxide traps // 
Journal of Physics: Conference Series 10 (2005) 39–42. 
64. И.В. Антонова, М.Б. Гуляев, З.Ш. Яновицкая, В.А. Володин, Д.В. Марин, 
М.Д. Ефремов, Y.Goldstein, J. Jedrezejewski. Сопоставление электрических 
свойств и фотолюминесценции в зависимости от состава слоев SiO
x
,
содержащих нанокристаллов кремния // ФТП. – 2006. – том 40, вып. 10. –
стр.1229-1236. 
65. Debajyoti Das, Arup Samanta. Size effect on electronic transport in nc–
Si/SiO
x
core/shell quantum dots // Materials Research Bulletin. – 2012. – V. 47, 
N11. – P. 3625 – 3629. 
66. S. Takeoka, M. Fujii, and S. Hayashi. Size-dependent photoluminescence from 
surface-oxidized Si nanocrystals in a weak confinement regime // Physical Review 
B. – V. 62. – pp. 16820-16825.
67. P Dimitrakis, P Normand, E Vontitseva, K H Stegemann, K H Heinig, B. 
Schmidt. Memory devices obtained by Si

irradiation through poly Si/SiO
2
gate 
stack //Journal of Physics: Conference Series 10 (2005). – стр 7–10. 


140 
68. M. Fanciulli, M. Perego, C. Bonafos, A. Mouti, S. Schamm, G. Benassayag
Nanocrystals in high-k dielectric stacks for non-volatile memory application// 
Advances in Science and Tech. Vol 51 (2006) pp. 156-166. 
69. Nikitin, Timur. Optical memory of silicon nanocrystals with submicron spatial 
resolution and very high thermal stability // Applied Physics Letters. – 2009. – Vol. 
94 , Issue 17. – P. 173116- 173116-3. 
70. C. Bonafos, et al. Si and Ge nanocrystals for future memory devices // 
Materials Science in Semiconductor Processing (2012), In Press, Corrected Proof, 
Available online 7 October 2012. 
71. Q. Ye, R. Tsu, E.H. Nicollian. Resonant tunneling via microcrystalline-silicon 
quantum confinement // Phys. Rev. B. – 1991. – Vol. 44 (4). – P. 1806 – 1811. 
72. D.V. Averin, A.N. Korotkov, K.K. Likharev. Phys. Rev. B, 44 (12), 6199 
(1991).
73. N.A. Sobolev. Radiation effects in Si–Ge quantum size structures (review) // 
Физика и техника полупроводников. – 2013. – Том 47, вып. 2. – С. 182-191. 
74. Huang M. B., Zhu J., Oktyabrsky S. Ion channeling investigation of proton-
irradiation-induced in-Ga atomic intermixing in self-assembled InAs/GaAs 
quantum dot structures // Journal of Applied Physics. – 2006. – V.100, N.10. – P. 
104312-1-6. 
75.

Download 12,44 Mb.

Do'stlaringiz bilan baham:
1   ...   34   35   36   37   38   39   40   41   42




Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©hozir.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling

kiriting | ro'yxatdan o'tish
    Bosh sahifa
юртда тантана
Боғда битган
Бугун юртда
Эшитганлар жилманглар
Эшитмадим деманглар
битган бодомлар
Yangiariq tumani
qitish marakazi
Raqamli texnologiyalar
ilishida muhokamadan
tasdiqqa tavsiya
tavsiya etilgan
iqtisodiyot kafedrasi
steiermarkischen landesregierung
asarlaringizni yuboring
o'zingizning asarlaringizni
Iltimos faqat
faqat o'zingizning
steierm rkischen
landesregierung fachabteilung
rkischen landesregierung
hamshira loyihasi
loyihasi mavsum
faolyatining oqibatlari
asosiy adabiyotlar
fakulteti ahborot
ahborot havfsizligi
havfsizligi kafedrasi
fanidan bo’yicha
fakulteti iqtisodiyot
boshqaruv fakulteti
chiqarishda boshqaruv
ishlab chiqarishda
iqtisodiyot fakultet
multiservis tarmoqlari
fanidan asosiy
Uzbek fanidan
mavzulari potok
asosidagi multiservis
'aliyyil a'ziym
billahil 'aliyyil
illaa billahil
quvvata illaa
falah' deganida
Kompyuter savodxonligi
bo’yicha mustaqil
'alal falah'
Hayya 'alal
'alas soloh
Hayya 'alas
mavsum boyicha


yuklab olish