Исследование и разработка лазерной технологии модификации электрофизических характеристик системы кремний диоксид кремния

 
 
 

---

44 
2.4. Методы исследования экспериментальных образцов
2.4.1 Метод сканирующей зондовой микроскопии
Сканирующие зондовые микроскопы (СЗМ) – это целое семейство 
новых уникальных приборов, позволяющих изучать свойства поверхности 
материалов (в ряде случаев и их объёма вблизи поверхности) с очень 
высоким пространственным разрешением – вплоть до атомарного 
разрешения. В настоящее время существует более десяти различных типов 
сканирующих зондовых микроскопов, но все они имеют общую структуру и 
в основе их работы заложены схожие принципы.  
В работе использовался сканирующий зондовый микроскоп СЗМ 
NanoEducator, изготовленный компанией NT-MDT. 
Принцип работы СЗМ NanoEducator [89] 

---

45 

---

46 
работы СЗМ называют методом постоянного взаимодействия (постоянной 
силы или постоянного тока). 

---

47 
Рис.2. 4. Траектории относительного движения зонда и образца 
Конструкция СЗМ NanoEducator 
компьютер). На рис. 2.5 представлена конструкция измерительной головки. 
исследования на образце осуществляется с помощью винтов перемещения 
сканера с образцом (9, 10). 

---

48 
Техническая спецификация прибора 

---

49 
2.4.2. Метод измерения вольт-амперных характеристик (ВАХ) 
 
Для исследования ВАХ экспериментальных образцов была разработана 
и реализована установка, представленная на рис.2.6.
Прижимное 
устройство пластины 
SI-SiO
2
Подвижный столик
Пластина Si-SiO
2
Направляющая 
подвижного зонда W
Подвижный зонд W
Диэлектрический
стол
Виброизоляция
Четырех-зондовый 
контакт к нижней 
стороне кремневой 
пластиныSI-SiO
2
Рис.2. 6. Фото установки для измерения вольт-амперных характеристик 
Установка состоит из расположенных на диэлектрическом столе
подвижного предметного столика и системы зондовых контактов: четырех-
зондовый контакт к нижней стороне кремниевой окисленной пластины и 
верхний подвижный зонд к поверхности пластины. Подвижный столик 
позволяет осуществлять перемещение верхнего контакта по разным 
направлениям. Зонд выполнен в виде вольфрамовой иглы с микронной 
заточкой в форме тригональной пирамиды и содержит спиральный 
пружинный участок с направляющей для регулирования и воспроизведения 
силы прижатия к поверхности исследуемого образца. Для проведения 
измерений ВАХ исследуемый образец помещался на подвижный столик и 
зажимался прижимным устройством к четырех-зондовому контакту.

---

50 
Напряжение подается от прибора Л2-56 и регулируется ручками на 
передней панели прибора. ВАХ экспериментального образца фиксируется на 
осциллограф PV6503A и передается с него на ЭВМ через USB-порт.