12.7 Kompensatsiyalangan kremniyda kuzatilgan avtotebranishlar asosida
fizik kattaliklarni o‘lchovchi tubdan yangi funksional datchiklar
Kompensatsiyalangan kremniy asosida kuzatilgan avtotebranishlarni har
tomonlama o‗rganish asosida nafaqat qattiq jism generatorlarini yaratish mumkinligi,
balki tashqi fizik kattaliklarning o‗zgarishiga o‗ta sezgir bo‗lgan yangi turdagi
funksional datchiklarni ham yaratish mumkinligi ko‘rsatib berildi. 11.2-jadvalda
kompensatsiyalangan kremniy materiali asosida yaratilingan amplituda va chastotali
chiqishga ega bo‗lgan harorat o‗lchash datchigining ishlash parametrlari berildi.
Do'stlaringiz bilan baham: |