I bob qattiq jismlar 1-§. Qattiq jismlarning fizikasida asosiy tushunchalar

12.5. Kompensatsiyalangan kremniy asosidagi tenzodatchiklar 
Mexanik  kattaliklarni  (bosim,  siqlish,  cho‗zilish)  elektr  signaliga  aylantirib 
beruvchi  yarimo‗tkazgich  datchiklarni  ishlashiga  asos  qilib  tenzorezistorlar  tanlab 
olingan.  Bu  yarimo‗tkazgich  datchiklar  metall  materiallardan  yasalgan 
tenzorezislardan  sezgirligini  kattaligi  bilan  ajralib  turadi.  YArimo‗tkazgichli 
tenzorezistorlarni  turli  shaklda  va  o‗lchamda  yaratish  onsonligi  bu  materiallarni 
mexanik  kttaliklarni  o‗lchashda  keng  foydalanish  imkoniyatlari  mavjudligini 
ko‗rsatadi. 
Adabiyotlardan  ma‘lumki,  yarimo‗tkazgich  materialini  kirishma  atomlar  bilan 
legirlab  taqiqlangan  sohada  chuqur  energetik  sath  xosil  qilinsa,  bu  material  tashqi 
mexanik  bosimga  o‗tasezgir  bo‗lib  qoladi.  Kirishma  atomlari  bilan 
kampensatsiyalangan  kremniyning  elektrofizik  parometrlari  (marganets,  rux, 
oltingugurt, nikel, selen va boshqa) tashqi mexanik kuchlanishning o‗zgarishiga o‗ta 
sezgir  bo‗lgani  uchun,  ular  asosida  tenzoresiztor  va  tenzodatchiklarni  yaratishda, 
mexanik  kuchlanishlarni  o‗lchashda  va  o‗rganishda  juda  katta  imkoniyatlarga  ega 
ekan. 
Mexanik  kuchlanishni  o‗lchash  uchun  [100]  kristallografik  o‗q  asosida 
o‗stirilgan  kirishma  atomi  bilan  kompensatsiyalangan  kremniy  tanlab  olindi. 
Tenzodatchik  uchun  hona  haroratida  (T=300K)  solishtirma  qarshiligi 
  =10
3
’10
5 
Om·sm  bo‗lgan  material  olindi.  Kompensatsiyalangan  kremniy  namunalari 
paralleopiped  shakliga  keltirilib,  mexanik  bosimni  sezuvchi  korpusga  joylashtirildi. 
Bir o‗qli bosim (BO‗B) qiymatini R=0’8·10
8
Pa oralig‗ida o‘zgarganda materialning 
solishtirma qarshiligini 10 marotabagacha kamayishi kuzatildi (11.3-rasm). Rasmdan 
ko‗rinadiki,  tenzorezistiv  effekt  kompensatsiyalangan  kremniy  materialining 
solishtirma qarshiligi ortishi bilan ortib borar ekan. 
Bir  o‗qli  bosim  qiymatini  R=8∙10
8
Pa  gacha  ortishida  materialning  solishtirma 
qarshiligi 
chiziqli 
kamayib 
bordi. 
Kompensatsiyalangan 
kremniydagi 
fotoo‗tkazuvchanlik xolatiga BO‗B ta‘sir etirilganda, fotoo‗tkazuvchanlikni qiymatini 
K=
  
   
  10
4
’10
10
  gacha  o‗zgarishi  kuzatildi.  Bunday  sezgirlik  xozirda  mavjud 
bo‗lgan biror-bir tenzodatchiklarda kuzatilmagan. SHu sababli, kompensatsiyalangan 
kremniyda 
BO‗B 
qiymatining 
R=10
5
’8∙10
8
Pa 
gacha 
o‗zgartirib 

---

 
232 
fotoo‗tkazuvchanlikning  qizil  chegarasini  0,72eV  dan  0,42eV  gacha  siljitish 
mumkinligi ham ko‗rsatib berildi. (11.4 rasm).  
 
    
12.3 Rasm  
kompensatsiyalangan kremniyda 
tenzorezistiv effekt  
Т=77 К. 1-KDB-4; 2- 10
3
 
Om·sm; 3- 10
4
 Om·sm; 4- 10
5
 
Om·sm  
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
1,0 
0,8 
0,6 
0,4 
0,2 
2 
4 
6 
8  X·10
-8
,Па 
1 
2 
3 
4 
 
 Расм 12.4 kompensatsiyalangan 
kreemniydabir o‘qli bosim ta‘sirida 
fotoo‘tkazuvchanlikni spektral 
bo‘g‘lanishi 
Т=80К. {J//X//<100>}:  1-Х=10
5
 
pа, 2-Х=2·10
8
 pа, 3-Х=4·10
8
 pа, 4-
Х=6·10
8
 pа, 5-Х=8·10
8
 
 

---

 
233 
 
Kompensatsiyalangan  kremniyda  fotoo‗tkazuvchanlik  xolatini  yuzaga  keltirib, 
so‗ngra  BO‗B  ta‘sir  etirilsa  tenzosezgirlik  bir  necha  darajada  oshib  ketar  ekan. 
Tenzodatchik  sifatida  [100]  kristall  o‗qi  asosida  o‗stirilgan  materialni  tanlashga 
asosiy  sabab,  bu  kristall  o‗qi  asosida  o‗stirilgan  va  kirishma  atomlari  bilan 
kompensatsiyalangan kremniyning tenzosezgirligi boshqa [111] va [110] kristall o‗q 
asosida  o‗stirilgan  va  kompensatsiyalangan  kremniy  materialidan  ancha  kattaligi 
tajriba  natijalari  asosida  aniqlangan  edi.  Kompensatsiyalangan  kremniy  asosida 
yaratilishi    taklif  etilgan  tenzodatchiklarda  BO‗B  ning  ta‘sir  etish  yo‗nalishi 
namunaga qo‗yilgan tok yo‗nalishi bilan parallel xolda amalga oshirildi (
 //R).