Физика-техника институти, ион-плазма ва лазер технологиялари институти, самарқанд давлат



Download 0,76 Mb.
Pdf ko'rish
bet9/36
Sana21.02.2022
Hajmi0,76 Mb.
#33812
1   ...   5   6   7   8   9   10   11   12   ...   36
Bog'liq
kremnijli strukturalarning elektrofizik xususiyatlariga zr ti va hf kirishmalarining tasiri (1)

кичик 
гуруҳидаги 
кириндиларни 
кремнийнинг 
электрофизик хусусиятларига таъсири” номли иккинчи бобда қийин 
эрувчи элементларнинг кремнийнинг хусусиятларига таъсирини тадқиқ 
қилишга бағишланган. Ушбу бобда Zr, Ti ва Hf - қийин эрувчи элементлар 
билан легирланган кремнийда нуқсон
ҳосил бўлиш жараёнларини, 
шунингдек кремнийда гафний ва лантан мисолида нодир ер элементлари ва 


11 
технологик киришмалар атомларининг киришмалараро ўзаро таъсирини 
ўрганиш, кремнийдаги қийин эрувчи ва нодир ер элементларнинг 
хусусиятларига термик ишлов беришнинг таъсирини текширишнинг 
комплекс тадқиқотлари натижалари келтирилган. 
Zr, Ti ва Hf киришмалари билан легирланган кремнийни 50 соат 
мобайнида 1200
0
С да диффузия усули билан легирлаш шуни кўрсатдики, 
барча тадқиқ қилинган диодларда вольт-фарад характеристикалардан (ВФХ) 
аниқланган 1/С
2
= f(V
обр
) боғланишлар чизиқли бўлиб, бу Zr, Ti ва Hf ларнинг 
яримўтказгич ҳажмида текис тақсимланганлигини кўрсатади. 300 К да 1/С
2

f(V
обр
) дан аниқланган, ионлашган марказларнинг ҳажмий заряд қатламидаги 
концентрацияси n-турдаги кремнийдан тайёрланган диодларда ҳам, 
шунингдек Zr, Ti ва Hf киришмали p-турдаги кремнийдан тайёрланган 
диодларда ҳам дастлабки кремнийдаги акцепторлар концентрацияси билан 
мос келади. 
Кремнийдаги нуқсонларнинг энергетик спектри титан мисолида кўриб 
чиқилган. DLTS спектридан келиб чиқадики, n-Si намуналарида 
Т
м
=120К ва Т
м
=150К да максимумларга эга иккита чўққи (1-расм, 1- эгри 
чизиқ) кузатилади. DLTS спектрларини Аррениус боғланишида қайта ҳисоб-
китоб қилиш чуқур сатҳларнинг бу чўққиларнинг Е
с
–0.20 эВ, Е
с
–0.27 эВ га 
тенг ионизация энергияси билан қайта зарядланиши билан боғлиқлигини 
кўрсатади. p-Si намуналарида Е
v
+0.30 эВ га тенг ионизация энергиясига 
тенг ва 

n
=2.10
-17
см

-
кавакларнинг қамраб олиш кесимига эга фақат 
биттагина чуқур сатҳ аниқланди. 

Download 0,76 Mb.

Do'stlaringiz bilan baham:
1   ...   5   6   7   8   9   10   11   12   ...   36




Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©hozir.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling

kiriting | ro'yxatdan o'tish
    Bosh sahifa
юртда тантана
Боғда битган
Бугун юртда
Эшитганлар жилманглар
Эшитмадим деманглар
битган бодомлар
Yangiariq tumani
qitish marakazi
Raqamli texnologiyalar
ilishida muhokamadan
tasdiqqa tavsiya
tavsiya etilgan
iqtisodiyot kafedrasi
steiermarkischen landesregierung
asarlaringizni yuboring
o'zingizning asarlaringizni
Iltimos faqat
faqat o'zingizning
steierm rkischen
landesregierung fachabteilung
rkischen landesregierung
hamshira loyihasi
loyihasi mavsum
faolyatining oqibatlari
asosiy adabiyotlar
fakulteti ahborot
ahborot havfsizligi
havfsizligi kafedrasi
fanidan bo’yicha
fakulteti iqtisodiyot
boshqaruv fakulteti
chiqarishda boshqaruv
ishlab chiqarishda
iqtisodiyot fakultet
multiservis tarmoqlari
fanidan asosiy
Uzbek fanidan
mavzulari potok
asosidagi multiservis
'aliyyil a'ziym
billahil 'aliyyil
illaa billahil
quvvata illaa
falah' deganida
Kompyuter savodxonligi
bo’yicha mustaqil
'alal falah'
Hayya 'alal
'alas soloh
Hayya 'alas
mavsum boyicha


yuklab olish