Гидрилланган аморф кремний намуналари легирланмасдан таиерланади, аммо Устириш иайгидаги технологии жараён

---

Гидрилланган аморф кремний намуналари легирланмасдан 
таиерланади, аммо Устириш иайгидаги технологии жараён 
шартларини узгартириш *исобига Ферми сат\и Е Р силжитиши 
мумкин. Бу \одисани псевдолегнрлаш дейилади. Бунда намуна 
панжарасининг Узгаришлари 
\олатлар зичлиги 
а(Н) 
ни 
узгартиради, бу эса угказувчанлик электронлари зичлигини 
узгартиради, заряд ташувчиларнинг фаолланиш энергияси 
Д Е-Ес-ЕР 
\ам
угказувчанликни Узгартиради.
Псевдолегирлаш 
усули 
билан 
а - Б Ж
пардаларини 
(катламларини) устириш учун триодли система кулланилади 
риод тури кучланиш танланадики, бунда кучли зарядсизла- 
ниш анод - тур оралигида булади, газлар аралашмасининг 
парчаланиши анод - тур оралигида юз беради.
Шундай килиб, аморф кремний олиш кристалл кремний 
олишга нисбатан анча арзон, бинобарин, унинг кУлланиш им- 
кониятини оширади. Аморф моддаларнинг физик, технологик 
техник жи\атдан Урганиши уларнинг кУлланиши сохаларини 
тобора кенгайтирмокда. Бундай материаллар янги \исоблаш 
машиналарида, ёзув ва алоца воситаларида, айникса куёш 
энергиясидан фойдаланишда самарали равишда ишлатил- 
мокда, янги кУлланиш жаб\алари очилмокда.
7.3. Суюк кристаллар
Энди суюц кристалларнинг тузилиши ва хоссаларига те- 
гишли маълумотларни баён киламиз.
Сук>к кристаллар каггик жисм ва сую* жисм орасидаги 
(мезаморф) фазалардир, улар кристаллга хос анизотропия хос- 
сасига эга ва бир вактда сую ^ и кка хос окувчанлик хоссасига 
эга. сую к кристаллар термодинамиканинг фаза тушунчасини 
Канотлантиради. Улар муайян температуралар оралигида мав- 
жуд булади,^ ундан паст температураларда эса 
изотроп 
суюкдикка аиланади. Суюк кристаллар молекуляр моддалар- 
дир ва уларнинг тузилиши кристалларга ва сую^ликларга хос 
тузилишлар оралигида булади. Сую К кристалларнинг физик 
хоссаларини бошкариш осон, бу хусусият уларнинг назарий ва 
а мал и и а^амиятини такозо кдпади.
Суюк кристалларнинг молекулалари чУзик булали ва бу 
биринчи навбатда, уларнинг тузилиши \амда хоссаларини

---

Куп 
*олларда 
кагтик 
жисмлар 
сиртини 
коплаган 
Катламларда ма\аллий сат\лар \осил килувчи киришмалар ва 
нуксонлар бор. Кристаллиинг уз сиртидаги ички \олатлар куч- 
ли электр майдони таъсирмга тез жавоб беради. уларни тезкор 
холатлар деиилади. цатламлардаги (ташки) \олатлар нисбатан 
анча секин таьсирланади, уларни сскин \олатлари деиилади.
Сиртнинг микдорий тавсифнома сиртий о ёки фазалараро 
у энергия булади. с ни сиртий таранглик деиилади, у сиртни 
чегаралаган чиликни бирлик узунликка ва сирт юзини унга 
мос катталпкка цадар (мицдорга) узгартириш учуй керак 
буладиган куч ни билдиради.
8.2. Сиртнинг тузилиши. Энергетик холатлар
\ацикий кристаллнинг сирт тузилиши анча мураккаб. 
Сирт дсганда юпка, лекин \ажмий, катлам тушунилади. Бу 
Катламлар 
крлинлиги 
кристалл 
панжараси доимийсидан 
унларча марта катта булиши мумкин. \акикий кристалл сир- 
тила турли нуксонлар кУп, ни\оят, сирт ташки мухит билан 
туташгани учун унинг шаклланишида кислород мухим Урин 
тутади. 150—200 нм калинликли табинй оксид катламлар 
амалда \амма вакт ка'гтик жисмларнинг сиртида мавжуд 
булади. 
Сирт 
гадур-будур 
булиб, 
дунгликлар 
билан 
ч у ку рл и клар 
навбатл а ш иб 
жойлашган.
Хозир сиртнинг манзараси
8.1- чизмадагидек булади деб,
\исобланади. 
Сиртда
погоналар 
булади. 
Т>0 
булганда 
флуктаииялар ту- 
файли 1,2 буш жойлар \осил 
булиши мумкин. Адсорция- 
лашган (сиртга епишган) атом 
буш жойни эгаллайди (3) ёки 
буш 
погонада цолади (4).
Погонада сиртий вакансиялар 
(5) \осил булиши мумкин.
Сиртда 
нуксонлар борлиги 
туфайли мазкур атом узаро 
170
8.1-чшма. Т=0 на Т>0 д» криста! 
енриш ингтужлиш л