Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar II xalqaro ilmiy anjumani

 
ИССЛЕДОВАНИЕ И РАЗРАБОТКА ИНТЕРФЕРОМЕТРА
(ШИРОГРАФА) ДЛЯ НЕРАЗРУШАЮЩЕГО КОНТРОЛЯ
МАТЕРИАЛОВ И ИЗДЕЛИЙ В ЭЛЕМЕНТОВ И УЗЛОВ 
МИКРОЭЛЕКТРОННЫХ ПРИБОРОВ 
1
Азаматов З.Т., 
2
Гапонов В.Е., 
1
Баҳромов А.Б. 
1
НИИ ФП и МЭ НУУз, 100074, Ташкент, Узбекистан, [e-mail] 
2
СФТИ НИЯУ МИФИ, Москова, Россия, [e-mail]. 
Создание новых и совершенствование имеющихся материалов 
обуславливает необходимость установления корреляционной связи между их 
структурой и свойствами, что может быть достигнуто, в том числе, 
исследованиями их деформационного поведения. Для решения этой задачи 

---

Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar

II xalqaro ilmiy anjumani 
 
19-20 noyabr 2021 yil 
341 
могут быть привлечены разные методы неразрушающего контроля, в 
частности оптические, которые позволяют регистрировать процессы, 
происходящие в материале, непосредственно при нагруженные. Одним из 
бурно развиваемых в последнее время оптических методов является с метод 
корреляционной спекл-интерферометрии или так называемый метод 
сдвиговой спекл-интерферометрии (ширографии shearography) [1-2]. В 
настоящее время метод сдвиговой спекл интерферометрии (ширографии) 
широко применяется для измерений деформации поверхности [3], измерения 
вне плоскостных смещений и внутри плоскостных напряжений, измерения 
остаточных напряжений, исследования стационарных вибраций и 
деформаций во времени. Для задач микроэлектроники метод ширографии 
может использоваться для диагностики элементов и узлов микроэлектронных 
приборов. 
C созданием лазеров, генерирующих когерентное излучение с 
характеристиками, обеспечивающими получение голограмм приемлемого 
качества, был предложен метод голографической интерферометрии (ГИ) [4].
И в цифровой голографии, и в методе цифровой голографической 
интерферометрии (DHI) анализ и синтез волновых фронтов осуществляется 
посредством их компьютерной обработки. Эта обработка реализует 
возможность регистрировать голограммы непосредственно на матричный 
цифровой сенсор и обрабатывать записанную картину распределения 
интенсивности цифровыми методами [6]. Таким образом, анализ волновых 
фронтов, предварительно зарегистрированных цифровым регистрирующим 
устройством, 
осуществляется 
без 
использования 
их 
физической 
реконструкции и, следовательно, может быть использован для сравнения 
двух и более волновых фронтов, записанных в разные моменты времени. 
Этот факт обеспечивает принципиально новую возможность – запись 
практически неограниченной серии одиночных голограмм, соответствующих 
различным состояниям объекта, и последующее получение (путем их 
попарного интерферометрического сравнения) зависимости перемещений и 
деформаций не только от координат, но и от времени. То есть фактически 
реализуется интерферометрический метод, а в нашем случае – цифровая 
голографическая интерферометрия (DHI). И, как следствие, обеспечивается 
возможность исследования на качественно новом уровне любых процессов 
деформирования, 
включая 
нестационарные 
квазидинамические 
и 
динамические процессы (термическое расширение, текучесть, ползучесть, 
случайные и затухающие колебания, распространение упругих волн при 
ударных и взрывных воздействиях и т.д.).
Процесс численного преобразования цифровой голограммы может 
быть 
реализован 
посредством 
применения 
любого 
дискретного 
дифракционного преобразования: Френеля–Кирхгофа, Френеля или Фурье. 
Однако наиболее быстрым и легко реализуемым является алгоритм быстрого 

---