ИССЛЕДОВАНИЕ И РАЗРАБОТКА ИНТЕРФЕРОМЕТРА
(ШИРОГРАФА) ДЛЯ НЕРАЗРУШАЮЩЕГО КОНТРОЛЯ
МАТЕРИАЛОВ И ИЗДЕЛИЙ В ЭЛЕМЕНТОВ И УЗЛОВ
МИКРОЭЛЕКТРОННЫХ ПРИБОРОВ
1
Азаматов З.Т.,
2
Гапонов В.Е.,
1
Баҳромов А.Б.
1
НИИ ФП и МЭ НУУз, 100074, Ташкент, Узбекистан, zakir.azamatov@mail.ru
2
СФТИ НИЯУ МИФИ, Москова, Россия, vladimir.gaponov@gmail.com.
Создание новых и совершенствование имеющихся материалов
обуславливает необходимость установления корреляционной связи между их
структурой и свойствами, что может быть достигнуто, в том числе,
исследованиями их деформационного поведения. Для решения этой задачи
Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar
II xalqaro ilmiy anjumani
19-20 noyabr 2021 yil
341
могут быть привлечены разные методы неразрушающего контроля, в
частности оптические, которые позволяют регистрировать процессы,
происходящие в материале, непосредственно при нагруженные. Одним из
бурно развиваемых в последнее время оптических методов является с метод
корреляционной спекл-интерферометрии или так называемый метод
сдвиговой спекл-интерферометрии (ширографии shearography) [1-2]. В
настоящее время метод сдвиговой спекл интерферометрии (ширографии)
широко применяется для измерений деформации поверхности [3], измерения
вне плоскостных смещений и внутри плоскостных напряжений, измерения
остаточных напряжений, исследования стационарных вибраций и
деформаций во времени. Для задач микроэлектроники метод ширографии
может использоваться для диагностики элементов и узлов микроэлектронных
приборов.
C созданием лазеров, генерирующих когерентное излучение с
характеристиками, обеспечивающими получение голограмм приемлемого
качества, был предложен метод голографической интерферометрии (ГИ) [4].
И в цифровой голографии, и в методе цифровой голографической
интерферометрии (DHI) анализ и синтез волновых фронтов осуществляется
посредством их компьютерной обработки. Эта обработка реализует
возможность регистрировать голограммы непосредственно на матричный
цифровой сенсор и обрабатывать записанную картину распределения
интенсивности цифровыми методами [6]. Таким образом, анализ волновых
фронтов, предварительно зарегистрированных цифровым регистрирующим
устройством,
осуществляется
без
использования
их
физической
реконструкции и, следовательно, может быть использован для сравнения
двух и более волновых фронтов, записанных в разные моменты времени.
Этот факт обеспечивает принципиально новую возможность – запись
практически неограниченной серии одиночных голограмм, соответствующих
различным состояниям объекта, и последующее получение (путем их
попарного интерферометрического сравнения) зависимости перемещений и
деформаций не только от координат, но и от времени. То есть фактически
реализуется интерферометрический метод, а в нашем случае – цифровая
голографическая интерферометрия (DHI). И, как следствие, обеспечивается
возможность исследования на качественно новом уровне любых процессов
деформирования,
включая
нестационарные
квазидинамические
и
динамические процессы (термическое расширение, текучесть, ползучесть,
случайные и затухающие колебания, распространение упругих волн при
ударных и взрывных воздействиях и т.д.).
Процесс численного преобразования цифровой голограммы может
быть
реализован
посредством
применения
любого
дискретного
дифракционного преобразования: Френеля–Кирхгофа, Френеля или Фурье.
Однако наиболее быстрым и легко реализуемым является алгоритм быстрого
Do'stlaringiz bilan baham: |