Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar II xalqaro ilmiy anjumani

Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar

II xalqaro ilmiy anjumani 
 
19-20 noyabr 2021 yil 
222 
микроэлектронике. Научный журнал. 2019, том 1, выпуск 4. Ташкент. DOI 
10.37681/2181-9947-2019-4 
8. 
Бахадырханов М.К., Абдураимов А.
Влияние упругого сжатия в 
направлении [100] на параметры ТЗН в кремнии, легированном марганцем. // 
Физика и техника полупроводников. - 1986. - Т. 20. - Вып. 9. - С. 1561-1564. 
9. 
О. О. Маматкаримов, Р. Х. Хамидов.
Тензорезистивный эффект 
кремнии с примесью олова при статическом и динамическом давлениях. 
Письма в ЖТФ. - 2003. - Т.29. - №3. – стр. 24 - 28. 

---

Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar

II xalqaro ilmiy anjumani 
 
19-20 noyabr 2021 yil 
223 
СЕКЦИЯ 4. ФИЗИКА МИКРО- И НАНОСТРУКТУРНЫХ 
МАТЕРИАЛОВ 
 
ЭФ
ФЕКТ ДАЛЬНОДЕЙСТВИЯ И ЩЕЛЬ ТАУЦА В ПЛЕНКАХ 
ПОЛИИМИДА, МОДИФИЦИРОВАННЫХ РАДИАЦИОННО-
ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКОЙ 
 
М.Г. Лукашевич
1
, В.Б. Оджаев
1
, Б.К. Исмайлов
2
, Н.Ф. Зикриллаев
2
,
З.Т. Кенжаев
2
, Г.Х. Маланов
2
, С.А. Тачилин
2
 
1
Белорусский государственный университет, 220030,
Минск, пр. Независимости 4, 
 
2
Ташкентский государственный технический университет 100095,
г. Ташкент, ул. Университетская 2
 
Аннотация:
Представлены результаты исследования оптических 
характеристик пленок полиимида (ПИ), подвергнутых радиационной 
(облучение гамма-квантами, имплантация однозарядных ионов (С
+
, B
+
, Сu
+
, 
Co
+
, Ni
+
, Fe
+
, Ag
+
, Mn
+
) c энергией 30-40 кэВ при плотности ионного тока в 
пучке 4 мкА/см
2
и термообработке в интервале температур 25 – 250 
о
С. 
Установлено, что все виды обработки приводят к кардинальному изменению 
спектральной зависимости отражения от имплантированной и не 
имплантированной сторон. Обнаружено усиление полос отражения не 
имплантированной стороной при λ
1
≈ 254 нм и λ
2
≈ 311 нм (гамма-кванты, 
ионы С
+
, B
+
, Сu
+
, Co
+
, Ni
+
, Fe
+
, Ag
+
), и λ
1
≈ 240 нм и λ
2
≈ 305 нм (ионы Mn+), 
т.е. далеко за пределами пробега ионов, что обусловлено как разогревом 
пленки в процессе имплантации, так и передачей электронных возбуждений 
далеко за пределы проецированного пробега ионов. Показано, что оптическая 
щель Тауца при имплантации разных ионов металлов может иметь как 
положительный, так и отрицательный знак, что может быть обусловлено 
формированием металлических включений в карбонизированном слое 
полимера и разным влиянием внедренных ионов на процессы формирования 
графитоподобных кластеров в модифицированном слое. В рамках 
двухслойной модели проведено моделирование прохождения света с учетом 
многократных отражений на границах раздела и установлена дозовая 
зависимость показателя преломления модифицированного слоя, который 
увеличивается до величины 
n 
=2.6 при дозе 5·10
16 
см
-2 
и уменьшался до 
n
=1.27 при дозе 1,5·10
17 
см
-2
.