Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar II xalqaro ilmiy anjumani

Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar

II xalqaro ilmiy anjumani 
 
19-20 noyabr 2021 yil 
199 
После диффузии проводилась химическая очистка поверхности 
образцов, чтобы снять остатки никеля, оксида кремния и стекол с 
поверхности раствором (HCl: HNO
3
, затем HF и промывка в H
2
O). 
На рис. 1 показано распределение АН в приповерхностном слое 
кремния, полученное на масс-спектрометре CAMECA IMS-6f Magnetic Sector 
SIMS. 
Также, для проверки наличия образования силицидных слоев, 
исследовался 
элементный 
состав 
лицевой 
поверхности 
кремния, 
легированного АН в сканирующем электронном микроскопе – марки 
TESCAN MIRA3, в режиме рентгеновского микроанализа. 
Как видно из рисунка 2, лицевая поверхность образцов состоит из 
атомов кремния - 96.58%, никеля – 1.44 %, кислорода - 1.98 %. То есть, 
можно утверждать, что на поверхности отсутствует силицид никеля и 
оксиды. 
Как видно из рисунка 2.4, при этом поверхностная концентрация никеля 
достигает 
n
S
~4·10
21
cm
-3
, толщина обогащенного слоя составляет 
d
~3.25 µm. 
На тыльной стороне тоже появляется обогащенный слой с концентрацией 
порядка 
N
S
~10
20
cm
-3
, но небольшой толщины 
d
~0.5 µm. 
Также экспериментально установлено, что при последующих 
термообработках с температурой ниже 900 °С обогащенный слой 
сохраняется. 
Это, 
видимо 
обусловливается 
тем, 
что 
дефекты 
приповерхностного слоя являются центрами преципитации атомов никеля. 
Также экспериментально установлено, что максимальная концентрация 
никеля в приповерхностных областях концентрационного распределения не 
зависит от времени диффузии и слабо зависит от температуры диффузии [5]. 
0
1000
2000
3000
4000
5000
6000
10
16
10
17
10
18
10
19
10
20
10
21
N
, cm
-3
x
,
nm
1
2
Рис. 2.4. Распределение атомов никеля в лицевом (1) и тыльном (2) слое кремния после 
диффузии из металлической пленки никеля, напыленного на одну поверхность пластины. 

---