Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar II xalqaro ilmiy anjumani

Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar

II xalqaro ilmiy anjumani 
 
19-20 noyabr 2021 yil 
200 
Рис. 2.5. Элементный состав на лицевой поверхности кремниевых образцов, 
легированных атомами никеля 
Измерения поверхностного сопротивления четырехзондовым методом, 
при послойном шлифовании образцов, показали слабое влияние АН на 
удельное сопротивление как поверхности, так и объема кремния. Это 
означает, что приповерхностный обогащенный никелем слой (ППОНС) 
кремния не влияет на концентрацию электроактивных атомов (ЭАА) никеля 
в объеме. 
Особенности обогащенного слоя: 
-
Накопление никеля на поверхности происходит по двум причинам: 
температура в конце термообработки понижается, растворимость 
внедренного никеля быстро падает. Во время процесса охлаждения, большая 
часть внедренного никеля диффундирует к свободной поверхности [6]. Также 
некоторые АН реагируют с вакансиями, которые мигрировали в кристалл с 
поверхности, что приводит к увеличению концентрации стабильных АН 
вблизи поверхности. 
-
Приповерхностный участок образуется в результате активного 
комплексообразования АН с дефектами решетки, в первую очередь с 
вакансиями. 
-
Образование ППОНС объясняется по механизму вытеснения и 
геттерирования. При увеличении степени пересыщения происходит 
уменьшение Ni
s
и увеличивается Ni
i
, за счет обратной диффузии 
межузельных атомов никеля. 
-
Основная часть АН диффундирует в междоузлиях кристалла. В этом 
случае междоузельный кремний и неконтролируемое примеси (кислород, 
железо, медь и т.д.) с большой вероятностью встречаются с никелем. Они 
могут образовывать междоузельные комплексы в объеме кристалла и 
основном в близи поверхности. 

---