Fizikaviy elektronika

II-BOB. EKSPERIMENTAL QURILMA, O’LCHASH    

METODIKALARI VA NATIJALARI 

 

2.1. Eksperimental   qurilma 

   

          Sirtiy    ionlashish    hodisasi    va    sirtiy    ionlashishning    nostatsionar  

sharoitlarda    o’rganish    imkonini    beruvchi    qurilma    quyidagi    eksperimental  

talablarga  javob  berishi  kerak: 

1.  Sirtdan  desorbsiyalanayotgan  ionlarni  mass-spektrometrik  qayd  qilish; 

2.  Yuqori    vakumli    mass-spektrometrik    qurilmada  gazlarni  aniqlash    va  

termoemission hususiyatlarini  nazorat  qilish; 

3.   Sirtga  tekshiriladigan  modda  tushishini  taminlash  va  kerak  paytda  uzib  

qo’yish; 

4.  Sezgir  qayd  qilish  sistemasi  va  relaksatsiya  jarayonlarini  kuzatish; 

5.  Temperaturani  yetarlicha  aniqlikda  o’lchash  imkonini  mavjudligi; 

6.  Turli  rejimlarga  tez  o’tish  imkonyatlari; 

         Yuqoridagi    talablarga    javob    beruvchi    mass-spektrometrik    qurilma       

MX-7304  dinamik  tipdagi  monopol  mass-spektrometr  yordamida  yig’ilgan.2.1-

rasmda    yuqori    vakuumli    mass-spektrometrik    qurilmaning    vakuum    qismlari  

---

 

sxemasi va  umumiy  ko’rinishi  keltirilgan.  Ishchi  sharoitlarda  ishqoriy  metallar  

bug’lari    bosimini    kamaytirish    maqsadida    ishchi    kamera    azot    yordamida  

sovutiladi.  Yuqori  vakuum  olish  (2)  forvakuumli  mexanik  nasos  va  ЦВЛ-I00 

tipidagi  (3)  diffuzion  nasoslar  yordamida  amalga  oshiriladi  va bu  nasos  (5) 

suv    tutqichi    hamda    metall    azot    tutqichi    (6)    bilan    ВВ-1  (ДУ-40)  ventillari  

orqali  ishchi  kameradan  ajratilgan. 

 

 

 

         Vakuum    sharoitlarini    yaxshilash    maqsadida    va    moy    hamda    simobsiz  

vakuum   olish  uchun  eksperimental  qurilmaga  magnitorazryadli   НМД-0,I6-I 

(4)  nasos    ulangan    bo’lib,    bu    nasos    asosan    ishqoriy    metallar    va    ularning  

tuzlari  sirtiy  ionlashishni  o’rganishda  ishlatiladi.  

Magnitorazryadli    nasos    (1)    ishchi    kameraga        yuqori    vakuumli    ventil    ВВ-

2(ДУ-63)  orqali  ulangan  bo’lib, ko’ndalang  kesimi  yetarlicha  katta  bo’lganligi  

sababli    magnitorazryadli    nasosning    so’rish    tezligi    va    samaradorligini  

kamaytirmaydi. 

          Vakuum    qurilmasining    barcha    qismlari    zanglamaydigan    po’latdan  

yasalgan  bo’lib,    bu    o’z  navbatida    qurilmani   

   

    haroratgacha  

qizdirish  va  yuqori  vakuum  olish  imkonini  beradi. 

  

---

 

    

 

   2.1-rasm. Yuqori  vakuumli  mass-spektrometrik  qurilmaning  vakuum  qismlari 

sxemasi  va  umumiy  ko’rinishi:  1-  ionlar  manbai    ishchi    kamerasi:  2-forvakumli  

nasos: 3- ЦВЛ-I00   diffuzionli  nasos: 4- НМД-0,I6-I magnitorazryadli  nasos: 5-

suv    tutqich:  6-azot    tutqich:  7-mass-analizator:  8-suyiq    azot  yordamida  

sovutiladigan  qism:  ВВ-1, BB-2 –yuqori  vakuumli  ventil 

 

---

 

          Bu    qurilmada  olingan    vakuum   

    ni    tashkil    qiladi    va  

qoldiq  gazlar  mass-spektri    keltirilgan.