Fizikaning hozirgi zamon ta’limidagi o’rni

“Fizikaning hozirgi zamon ta’limidagi o’rni”. Samarqand 2019-yil 13-14 dekabr.
 
306 
5% дан кам ионлашган заррачалар кристални ташлаб кетади. Бу ионлар фокусланади ва масс 
анализаторга йўналтирилади, унда ионлар m/q нисбатга мувофиқ ажратилади. Шундан кейин 
ажратиб олинган ионлар детекторга келиб тушади, унинг интенсивлиги қайд қилинади ва бу 
маълумот компьютерга тахлил учун жўнатилади. 
ВИМС-қатор имкониятларга эга. Шулардан: 
1. 
Исталган қаттик моддаларни (металл, диэлектрик, сплав, яримўтказгич) ҳеч 
кандай махсус ишловларсиз таҳлил килиш мумкин. 
2. 
Водород элементидан –трансуран элементларигача қайд килиш мумкин. 
3. 
Элементларни идентификация қилишда қийинчилик туғдирмайди. 
4. 
Сезгирлиги замонавий приборларда [3] (1 см
3
ҳажмда атомлар сони 10
12
-10
16
) 10
-
4
-10
-7
ташкил этади. 
Келтирилган усул ҳам камчиликдан ҳоли эмас. Намунани бирламчи ионлар билан 
нурлантириш (бомбардировка) давомида тўқнашиш каскадлари вужудга келади, бу эса ярим 
ўтказгичдаги бирламчи кристалл тузилишини бузилишига олиб келади. Бу бузилган қатлам, 
эксперимент натижаларига кучли таъсир кўрсатади. Қатламнинг ўлчами, бирламчи ионларнинг 
энергиясига боғлиқ. Шунинг учун ярим ўтказгични қатлам-қатлам таҳлил қилишда, унинг 
юзсига тушаётган бирламчи ионларнинг энергиясини мумкин қадар кичик қилиб олиш керак. 
Келгусида юкорида баён килинган курилмани 2019 йил Призидент Фармонига мувофиқ 
ташкил қилинган М.Улуғбек номидаги Ўзбекистон Миллий университети ҳузуридаги Ярим 
ўтказгичлар ва Микроэлектроника илмий тадқиқот институтига олиб келиш ва уни ўрнатиш 
ишлари режалаштирилмоқда. 
Адабиётлар 
1. 
/Ред. Л. Фирменс, Дж. Венник, Д.Декейсер «Электронная и ионная спектроскопия 
твёрдых тел» , М.: Мир.1981. с.345-464. 
2. 
/Ред. А.Бериш, « Распыление твёрдых тел ионной бомбардировкой» Сер. 
«Проблемы прикладной физики», М.: Мир.1981.Вып. I, II. 
3. 
В.И. Нефедов, В.Т.Черепин «Физическое методы исследования поверхности 
твёрдых тел».М.:Наука, 1983. с.150-293.