Fizikaning hozirgi zamon ta’limidagi o’rni

“Fizikaning hozirgi zamon ta’limidagi o’rni”. Samarqand 2019-yil 13-14 dekabr.
 
313 
подложками, так и величина начального переохлаждения на границе раздела фаз, непосредственно 
перед погружением подложек в раствор-расплав. 
Литература. 
1. 
Саидов А.С., Кошчанов Э.А., Раззаков А.Ш., Насыров У., Гаимназаров К.Г. Гелиотехника, 
1998, №6, стр. 23-26. 
2. 
Саидов А.С., Раззаков А.Ш., Гаимназаров К.Г. ДАН РУз, 8-9, стр.23-25. 
3. 
Милнс А., Фойхт Д. Гетеропереходы и переходы металл-полупроводник. Москва,Мир,1975.
МДЯ СТРУКТУРАЛАРНИ ХАРАКТЕРИСТИКАЛАРИГА ТУРЛИ ТАШҚИ 
ОМИЛЛАРНИНГ ТАЪСИРИ. 
 
И.И. Марипов
1
.,Х.Ж.Камолхўжаев
2
., Э.Эргашев
2
. 
Гулистон давлат университети ўқитувчиси
1 
Гулистон давлат университети талабаси
2 
Планар техналогия ривожланишида, қаттиқ жисм мироэлектроникасида электрофизик 
жараёнларни ўрганиш кераклигига олиб келди. Бунда яримўтказгич сирт холатида ва диэлектрик-
яримўтказгич чегарасидаги бўлаётган аниқ химоя қоплами яримўтказгич асбоблар параметрларига 
ахамиятли таъсир кўрсатади. Маълумки, кристалл панжарасидаги нуқсонлар яримўтказгич 
тақиқланган сохасида энергетик сатх вужудга келишига олиб келади.
Яримўтказгич сирти ёки яримўтказгич – диэлектрик чегарасини ўзини макронуқсон деб олиш 
мумкин, чунки кристалл панжарисининг потенциал даврийлигини узилиши яримўтказгич 
тақиқланган сохасида энергетик сатхлар хосил бўлишига олиб келади. Шунақа сирт холат вужудга 
келишини биринчи марта Тамма ва Шоклилар томонидан айтилган. Бу вазиятда яримўтказгич сирт 
холатини узилган боғликлар ёки тўйитирилмаган сирт деб қараш мумкин [1]. 
Сиртий холатларини вужудга келиши, сирт қатламда оширилган концетрация нуқсонларни 
(дислокация, киришмавий атомларни тўпланиши ва нуқтавий нуқсонлар) вужудга келтириши 
мумкин. Яримўтказгич сиртида оширилган нуқсонлар концентрацияси бу сохада қуйидагилар 
бўлади, механик таъсир, термодинамик – номувозанатий нуқсонлар ортиқча таъминлочи бўлиб 
хизмат қилади. Бундан ташқари яримўтказгич – диэлектрик ажралиш чегарасида сиртий энергетик 
сатхларни турли табиатлилиги, диэлектрикда яқин етарли локалашган зарядларни уйғонишига 
олиб келиши мумкин. 
N
ss
катталик яримўтказгич сиртий холатларини аниқлашда, уни техналогик ишлови, 
шунингдек диэлектрик хусусиятларида сирт алохида бир соха деб қаралиши керак, 
яримўтказгичнинг хажмдаги параметрлари сиртий параметрларидан фарк қилиши лозим. Юқори 
ишончли ва яриўтказгич асбобларини мустахкам ишлашини таминлаб бериш учун, яримўтказгич 
– диэлектрик ажралиш чегарасида паст натижа 
SS
N
олиш керак, яримўтказгич сохасида 
ахамиятли электрофизик характеристикаларини ўзгартирмаслигига олиб келиши керак. Хозирги 
пайтда яхшироқ ўрганилган 
2
SiO
Si

ажралиш чегараси бўлиб келмоқда, улар учун 
SS
N
қиймати 
2
1
12
9
10
10



см
эВ
га тенг. 
SS
N
катталиги 
Si
дастлабки сиртий ишловига ва оксид қатлам 
олиш технологиясига боғлиқдир. 
Яримўтказгич – диэлектрик ажралиш чегарасида, паст ҳароратда олинидаган 
Si
пассивирловчи сирти, хозирги пайтда паст даражада ўрганилган. Пиролитик ўтирғизилиш йўли 
билан олинган 
2
SiO
ларда хам паст температуралар ишлатилади. Бироқ бу қопламларни 
қўлланилиши яримўтказгич – диэлектрик ажралиш чегарасининг сифатини пасайишига олиб 
келади.. Паст ҳароратли пассивловчи қатлам олиш усулларидан бири, мумкин бўлган кўп 
бирикмалий енгил эрувчи шишадир.

---