Film passivini hisoblash

Materiallar
pF/sm2
joylashtirish
Sb2S3
ASS
BSS
IHD
joylashtirish
d
ASS - aluminosilikat oynasi;
BSS - 15% B2O3 va 85% SiO2 ni o'z ichiga olgan borosilikat shisha ; IBS -
itriy-borit shishasi.
dielektrik ichiga diffuziyani oldini olish, ham substratga yaxshi yopishish va
tgd 10–3,
1–2
0,5–0,8
9
Kompyuter 1000-30
trik plyonkalar ham termal, ham elektr jarayonlari natijasida yuzaga keladi. Issiqlik buzilishi elektr
o'tkazuvchanligining eksponentsial o'sishi tufayli yuzaga keladi
2–3
TiO2
O'tkazuvchanlik e dielektrikning eng muhim xususiyatlaridan biri bo'lib, ular vakuumdan
berilgan muhitga o'tkazilganda zaryadlar orasidagi kulon o'zaro ta'siri necha marta kamayishini
ko'rsatadi. e ning qiymati undagi vakuum dielektrik bilan almashtirilganda kondansatkichning
sig'imini oshirishni aks ettiradi.
,
10
Elektr uzilishi elektronlarning tunnel orqali o'tishi bilan bog'liq
bu dielektrikdagi yo'qotishlar. Ushbu yo'qotishlar moddiy xususiyatlarga bog'liq
15
palladiy, palladiy-kumush, indiy, reniy. Oltin asosli pastalar eng past sirt qarshiligini ta'minlaydi (Rÿ=
0,001 - 0,003 ohm/ ÿ).
e,
totes va maydonning kuchli tomonlari.
besh
SiO
3.7
GeO
30–100
18–21
5,2 – 5,5
3,9 – 4,2
10–12
1–2 5–10 5–7 5–20
0,3 – 1,5 30–80 10
100
va ilgari hosil bo'lgan filmlar, past cho'kma harorati va etarli kimyoviy qarshilik. Kondensatorning
pastki plitasining materiali
jadval 2
bitta
Ushbu metallar, asosan, atomlarning yuqori migratsiya harakatchanligi tufayli qo'llanilishini topa
olmadi. Ko'pincha, dan kondansatör plitalari ishlab chiqarishda
mikrosxemalarning boshqa elementlarini ishlab chiqarish uchun texnologik jarayonlarga mos keladi.
Yupqa qatlamli kondansatkichlarning dielektriklari usullar bilan hosil bo'ladi
1/deg
1–2
3–5
1,5–5
2–3
d
valentlik zonasidan, nopoklik darajasidan yoki metall elektrodlardan, shuningdek zarba tufayli
elektronlarning ko'chki ko'payishidan o'tkazuvchanlik zonasi
yigirma
dielektrik va migratsiya va dipol gevÿeme yo'qotishlarining yig'indisi bilan aniqlanadi. Migratsiya
yo'qotishlari dielektrikda o'tkazuvchanlik bilan bog'liq bo'lib, giperbolik qonun bo'yicha chastota
ortishi bilan kamayadi va ortib borishi bilan eksponensial qonunga ko'ra ortadi.
e e S
60
elektr maydon kuchi qaysi mahalliy
––
0,24
0,3-0,5
3-5
Bu erda e0 = 8,85 ÿ 10-14 F/sm - elektr doimiysi, S - bir-biriga yopishish maydoni
26
4–10
3
dan ko'p bo'lmagan balandlikdagi mikropürüzlülüklerin minimal soniga ega bo'lishi kerak
(yigirma)
Qalin plyonkali Supero'tkazuvchilar plyonkalar, umumiy talablarni bajarishdan tashqari,
dielektrik pastalar bilan mos kelishi kerak. Ko'rishguncha
alyuminiy, titanium yoki vanadiyning pastki qatlamidan foydalaning.
T = -60÷+ 85 °C
3 5
1,5
0,2 5
––
yuqori elektr maydonlarida ionlanish.
Kompyuter-12
harorat. Dipol-relaksatsiya yo'qotishlari dipollarning o'rtacha muvozanat holati atrofida issiqlik
harakati natijasida yuzaga keladigan xaotik tebranishlari paytida elektr maydonidagi yo'nalish
jarayonlari natijasida yuzaga keladi.
2
C=
6–8
10–12
10
Supero'tkazuvchi kanalning shakllanishi bilan dielektrikni yo'q qilish: EPR = UPR / d, bu erda UPR -
buzilish kuchlanishi, d - dielektrikning qalinligi. Dielektrik parchalanish
3–5
pF/sm2
kondansatör plitalari, d - ular orasidagi masofa.
10
0,025 mkm.
Yuqori o'tkazuvchanlikka ega bo'lgan barcha metallardan (Au, Ag, Cu, Al) faqat ikkinchisi
yuqoridagi talablarni to'liq qondiradi. Boshqalar dan
miqdoriy ko‘rsatkichdir
dielektrikning harorati ko'tarilganda uning tarkibidagi suv.
10–100
1–1,5
30
4
7
kovy pastalari oltin, oltin-platina, oltin-
Dielektrik o'tkazuvchanlik materialga, haroratga, soatga bog'liq
21–27
SiO2
36
± 10
ÿ
± 10
ÿ
termik purkash, anodik oksidlanish, ion-plazma va reaktiv purkash. Qalin plyonkali
kondansatörler uchun dielektrik pastalar keramik materiallar va oqimlarning
aralashmasidan tayyorlanadi. Issiqlik bilan ishlov berishdan keyin plyonka qalinligi
40-60 mkm. 2-jadvalda kino kondansatkichlarini ishlab chiqarish uchun ishlatiladigan
dielektrik materiallarning asosiy xususiyatlari keltirilgan.
f = 1
kHz
Dielektrik yo'qotish tangensi tg
,
Film kondansatkichlari uchun dielektrik materiallarning xususiyatlari
Yupqa plyonkali kondansatör plitalarining materiali yuqori elektr o'tkazuvchanligiga
va atomlarning past migratsiya harakatchanligiga ega bo'lishi kerak.
0
Dielektrik plyonkalarning EPR ning elektr quvvati bilan tavsiflanadi
Al2O3
UPR ÿ150 V
EPR 10-6 ,
Ta2O5
C0 10–3, TKE 104
UPR ÿ150 V 30 - 40
V/sm
21
22
Machine Translated by Google

---

24
23
1. CH ning nominal sig'imi - sxemaning shartlari bilan belgilanadi va aniqlanadi
C=
CH = K ÿ C0 ÿ S
d
taniqli formula bo'yicha
Bu erda K - chekka effekt ta'sirini hisobga oluvchi koeffitsient ÿ S
1, agar ÿ
=CS=CAB
,
(21)
bu erda e0 - dielektrik o'tkazuvchanlik (e0 = 0,0885 pF /
sm); S0 - o'ziga xos sig'im ( S0 = 0,0885(e ÿ d) pF/
sm2 ); e - dielektrikning o'tkazuvchanligi; S -
plitalarning o'zaro yopishish maydoni. Kichkina
maydonli plyonkali kondansatörlerin SN ni aniqlashda chekka ta'sirining
ta'siri tufayli sig'imning oshishini hisobga olish kerak. Umuman
e e S
,
C
2
Taroqli kondansatkichning sig'imi formula bilan aniqlanadi
robl ÿ (ron + rov)/3,
d = ÿ ÿ UP / EPR ,
Q = (tan d)–1 = (tan dg + tan dobc)–1,
>
bu erda tg dobcl - kondansatkichning plitalari va terminallaridagi yo'qotish burchagining tangensi ;
tg burilish = 2p ÿ ƒish(aylanish + rB) ÿ S (25)
(26)
3. Q plyonkali kondansatörning sifat koeffitsienti uning dizayni va ishlatiladigan
materiallarga bog'liq. U dielektrikdagi yo'qotishlar bilan aniqlanadi va
5 mm;
pinout
C C 1,3 0,06,
agar 1 5 mm ÿÿ bo'lsa
Qarshilik robcl kondensatorning dizayniga, plitalar materiallarining
o'tkazuvchanligiga, ularning geometrik o'lchamlariga, shuningdek naqshga bog'liq.
C = b
C
bu yerda b - grafikdan aniqlangan koeffitsient (6-rasm);
Film qalinligi d, berilgan UP ni ta'minlash shartidan tanlangan , op
ÿ ÿ ÿÿ
(22)
signal va atrof-muhit harorati.
e + e
bu yerda ÿS0 - berilgan ishlab chiqarish sharoitida ushbu qiymatning takrorlanishini
tavsiflovchi nisbiy xatolik S0 . ÿS - faol maydonning nisbiy xatosi
(24)
(23)
bu erda ÿ - ishonchlilik xususiyatlarini ta'minlovchi xavfsizlik omili . Plyonkali
kondensatorlar uchun xavfsizlik koeffitsienti 2÷10 ga teng tanlanadi. Yuqori
ishonchlilikdagi kondensatorlarni hisoblash uchun xavfsizlik koeffitsienti ÿ = 5÷10
tanlanadi.
C
.
ifodasidan aniqlanadi
kondansatör plitalarida
bu erda ron va rov - pastki va yuqori plitalarning qarshiligi. Plyonkali kondensatorning
sifat koeffitsienti Q = 10÷100. Amaliy hisob-kitoblarda tg d mos yozuvlar hisoblanadi
plitalardagi oqim chiziqlarini taqsimlash. 2 tomonlama kondansatkichlar uchun
ÿ ; _
Dielektrik yo'qotish tangensi asosan chastotaga bog'liq
K
,
ÿ = ÿ
2. UP ish kuchlanishi dielektrik plyonkaning kerakli qiymatlari EPR va plyonka
qalinligi d bo'lgan materialni tanlash orqali ta'minlanadi.
ÿ
ÿ
ÿ
ÿ
Guruch. 6. Nisbat
l - taroqning 2 o'tkazgichining qo'shma chegarasining uzunligi.
qiymat.
robl - plitalarning ketma-ket qarshiligi;
Nisbiy sig'im xatosi ÿS
ÿS = ÿS0 + ÿST + ÿS + ÿSst,
rV - qo'rg'oshin qarshiligi.
e1, e2 - substrat materiali va muhitning o'tkazuvchanligi;
b