Film passivini hisoblash

To'rtburchaklar chiziqli rezistorlarni hisoblash
Murakkab shakldagi yupqa plyonkali rezistorlarni hisoblash
Bu erda btech, bprecise, br - qarshilik kengligining minimal qiymati, tufayli
bcalc ÿ max { btech, bprecise, br}, (8)
Substratdagi rezistorning egallagan maydoni
1top uchun 1kalc dan katta qiymat koordinatalar panjarasining qadamiga karrali sifatida
qabul qilinadi . Kontaktning bir-biriga mos kelishini hisobga olgan holda rezistorning umumiy uzunligi
hisoblashni soddalashtirish uchun k1 qiymati 0,1 ga teng qabul qilinadi.
100 mkm, 1K ÿ 200 mkm niqob uchun.
(15)
(16)
Rezistorning umumiy uzunligi , kontakt yostiqlarining bir-biriga mos kelishini hisobga olgan holda
b
kengligi. Rezistor uzunligining hisoblangan qiymati shartdan tanlanadi
= ÿ PK P /.
(13)
(o'n to'rt)
(10)
=
(12)
ÿ
bcalc uchun olingan btechdan eng katta qiymatni tanlang, bprecise, br. Keyin btop rezistorining
topologik kengligini toping (topologiya chizmasidagi kenglik). btop uchun bcalc qiymatidan ko'proq
narsani oling , bir nechta
.
panjaralar 0,5 mm ni qabul qiladi. Keyin, agar o'lchov 10: 1 bo'lsa, yaxlitlash
ifodalar (2) 1calc
= btop(RH – 2RK ) / Rÿ = btop (RH – 2k1 ÿ Rÿ) / Rÿ ,
S = l to'liq ÿ b.
Hisoblashdan so'ng rezistorning topologiyasi chiziladi. CF
< 1 bo'lgan rezistorlar uchun birinchi navbatda uzunlikni aniqlang, keyin esa
1top uchun 1kalc ga eng yaqin raqamni oling , bu koordinatalar to'ri qadamining ko'paytmasi.
Agar ltop > 300 mkm bo'lsa, u holda (hisoblashni soddalashtirish uchun) k1 = 0,1 qiymatlarini
qoldirib, dizayn va texnologik cheklovlar jadvalidan 1K tanlanishi mumkin . Fotolitografik
topologiyani yaratish usullari uchun 1K ÿ
qayerda
bcalc = Rÿ ÿ 1top / ( RH - 2k1 Rÿ ).
to'r. Rezistorni
hisoblab bo'lgach, uning topologiyasini chizing.
saytlar (12) formula bilan aniqlanadi. bcalc kengligi
RH uchun formuladan aniqlanadi
CF > 10 bo'lgan yuqori qarshilikli rezistorlar uchun eng katta dastur bu meander shaklidir.
Meanderni hisoblash rezistor egallagan minimal umumiy maydonning holatidan quyidagi ketma-
ketlikda amalga oshiriladi: birinchidan, qarshilik chizig'ining kengligi formulalar (8-10) yordamida
aniqlanadi. Orqasida -
PR P
=
,
ÿ
va ular (8)dagi kabi ma'noga ega.
btop uchun bcalc ga eng yaqin raqamni oling , bu koordinata qadamining ko'paytmasi
topologiya chizmasi uchun qabul qilingan koordinatalar panjarasining qadami. Koordinatalar
panjarasining qadami koordinatalar panjarasining yacheykasining yarmiga teng tanlanadi. Misol
uchun, agar chizma grafik qog'ozda bajarilgan bo'lsa, u holda koordinatali qadam uchun
(o'n bir)
lfull = 1top + 2 ÿ 1K .
PR PK
l
ÿ
btop 50 mkm ga ko'paytiriladi. Rezistor lcalc uzunligi
(kontakt prokladkalaridan tashqari) dan aniqlanadi
bu erda k1 - qarshilik kontaktlarining qarshiligini hisobga oladigan koeffitsient . Ushbu koeffitsient
texnologiya darajasiga, aloqa qiluvchi juftlik materiallariga va yostiqning bir-biriga yopishgan
miqdoriga bog'liq lK. lK = b bo'lgan hollarda
,
0
F
0
H F
p
H
0
1calc ÿ max {ltech, 1accurate, 1p},
1aniq ÿ (D1 + Db ÿ KF) / ÿKFdop,
p
aniq ÿ Db ( KF + 1) / ( KF ÿ ÿKFdop );
jarayon.
v) bp ning minimal qiymati formula bilan aniqlanadi
b) rezistorning kengligi, aniqlik xususiyatlari bilan belgilanadi
aniq ÿ ( Db + Dl / KF ) / ÿKFadm., (9)
CF ÿ 1 bo'lgan to'rtburchaklar rezistorlar uchun birinchi navbatda kengligi, keyin esa qarshilik
uzunligini aniqlang - Rezistorning kengligi shartdan aniqlanadi.
ishlab chiqarishning texnologik imkoniyatlari, takrorlanuvchanligi
a) btechning qiymati texnologik proning imkoniyatlari bilan belgilanadi
mos ravishda o'tkazuvchanlik va tarqalish kuchi:
Machine Translated by Google

---

,
Ly = ( n0 ÿ b – ( N – l ) ÿ 3b ) / N,
U holda, Lx = Ly + 2b bo'lsa,
[n0 ÿ b - ( N - l ) ÿ 3b] / N + 2b = ( 2N - l )b.
Lx = Ly + 2b uchun amal qiladi. Rezistorlarni loyihalashda
Lx = ( 2N – l ) ÿ b,
bu erda n0 - kvadratlarning umumiy soni (kontaktlardan tashqari).
meander shakli odatda a va b ni tanlaydi . Bunday qarshilik uchun
kvadratga mos keladi. Rasmda ko'rsatilgan rezistor uchun. 1, d, bu shart
rezistorning shakli va hajmini optimallashtiradi. Buning uchun rezistor egallagan maydon
minimal bo'lishi sharti bilan N meander bog'lanishlarining soni aniqlanadi. Shubhasiz, bu
meander qachon bo'ladi
(17)
, ulgurji