Fertigung und Erprobung eines Mikro-Wirbelstromsensors zur Abstandsmessung

Weißlichtinterferometer (WyKo)

Das Weißlichtinterferometer ist ein Interferenzmikroskop, welches die dreidimensionale Vermessung der Oberflächentopographie ermöglicht.





2005 imt 5017-041
Bild 5.14: Ergebnisse einer Messung mit dem Weißlichtinterferometer

Die Messungen werden mittels Weißlicht im vertikal rasternden Interferometrie- Modus (VSI-Vertical Scanning Interferometry) durchgeführt [GAT97, GAT99]. Die optische Vergrößerung ist 40-fach. Mit dem Weißlichtinterferometer kann, wie mit dem Tastschnittgerät, die gesamte Struktur vermessen werden. Das Bild 5.14 zeigt die mit Weißlichtinterferometer gemessene Gruben-Struktur des Wirbelstromsensors.

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