Fertigung und Erprobung eines Mikro-Wirbelstromsensors zur Abstandsmessung

Messtechnik

1. Topographievermessung

   1. Tastschnittverfahren

Zur Schichtdickenbestimmung wird auf dem Substrat eine Stufe zwischen einem unbeschichteten und einem beschichteten Bereich mit einer Abtastnadel abgefahren und die Messung elektronisch ausgewertet (Bild 5.12). Die Messeinrichtung besteht aus dem eigentlichen Messgerät und einem PC mit Handhabungs- und Messprogramm.

Messnadel ^{Tastorgan Hebelsystem}

Schicht Substrat

2005 imt 5017-039
Bild 5.12: Messprinzip des DekTak-Profilometers

Der Wafer wird so positioniert, dass eine geeignete Stufe im Verfahrweg der Nadel liegt, dann kann die Messung durchgeführt werden. Auf dem Monitor wird in einem Diagramm die vertikale Nadelbewegung über dem Verfahrweg aufgezeichnet, wobei die Probenebene zum Verfahrweg leicht geneigt sein kann.

Zwar ist das Auswertungsprogramm in der Lage, einen gewissen Neigungswinkel zu kompensieren, doch sollte darauf geachtet werden, dass die Probe einigermaßen waagerecht liegt. Der Neigungswinkel der Probe kann per Handrad verstellt werden. Das gemessene Profil zeigt das Bild 5.13.
[A]


2005 imt 5017-040

Bild 5.13: Gemessenes Profil bei der Messung mit dem Tastschnittgerät

2.