Электростатика

фоточувствительный прибор с заря-
довой инжекцией
(ФПЗИ), в котором перемещение зарядового 
пакета происходит внутри фоточувствительного элемента с по-
следующей инжекцией в подложку или область стока заряда. 
Такие структуры имеют следующие достоинства: практическое 
отсутствие потерь передачи; возможность использования в ка-
честве фоточувствительных элементов фотодиодов, имеющих 
большую по сравнению с МДП-структурами чувствительность; 
возможность организации произвольной выборки любого эле-
мента или группы элементов. 
Изготовление ФПЗС можно осуществлять по двум техно-
логиям. 
В приборах с поверхностным каналом перенос сигналь-
ных зарядовых пакетов осуществляется на границе раздела 
«окисел – полупроводник». В этом типе ФПЗС легко управлять 
переносом, однако, взаимодействие зарядовых пакетов с по-
верхностным состоянием приводит к захвату и эмиссии носите-
лей. Все это приводит к снижению эффективности переноса но-
сителей при низких уровнях освещенности. 
В технологии с объемным каналом переноса зарядовых 
пакетов предусмотрено заглубление канала путем его ионного 
легирования примесью с проводимостью, противоположной 
подложке. Этот технологический прием существенно увеличи-
вает эффективность переноса, но несколько снижает управляе-
мость. 
В последнее время весьма перспективны ФПЗС для цвет-
ного телевидения, конструктивно оформленные в виде строч-
ных или строчно-кадровых матриц с числом элементов 500 x 
500 и совмещенных с цветокодирующим фильтром. 
На основе ФПЗС разрабатывается серия многоэлементных 
приемников изображения средневолнового и длинноволнового 
ИК диапазона длин волн. В их основе гибридные структуры с 
интегральными элементами считывания и предпроцессорной 
аналоговой обработкой видеосигнала на кристалле. 

---

140 
Тепловизионные системы на основе ИК ПЗС по пороговой 
температурно-пространственной чувствительности и быстро-
действию не уступают лучшим образцам современных теплови-
зоров.