Bo’lim boshlig’i N. I. Asqarov Kafedra mudiri Sh. A

Tadqiqot ob’ekti va predmeti.
Dissertatsiya ishining tadqiqot ob’ekti 
lazerlar yordamida mikroelektronika materiallarga ishlov berish va ularni qayta 
ishlash metodlarini o’rganishdan iborat. Predmeti esa, mikrolelektronika 
materiallariga 
lazerli 
ishlov 
berish 
metodlarining 
natijalari 
asosida, 
yarimo’tkazgich materiallarni kesuvchi, teshuvchi, erituvchi qurilmalar tuzilishi, 
islash tamoyillarini o’rganishdan iboratdir. 
Tadqiqotning 
maqsadi:
Lazer 
qurilmalari 
yordamida 
yarimo’tkazgichlarga ishlov berishning texnologik jarayonlari va qurilmalarini 
o’rganish, olingan natijalarni adabiyotlar orqali tahlil qilish.
Tadqiqotning vazifalari: 
1. Mikroelektronikada qo’llaniladigan impulsli lazerlarning yaratilish 
tarixi va ilmiy asoslari, konstruktiv jihatlari va ularning qo‘llanilishi bilan 
bog‘liq masalalarni o‘rganish va bayon qilish; 
2. Mikroelektronikada keng qo’laniladigan yarimo’tkazgich materiallarga 
lazerlar yordamida ishlov berishning fizikaviy asoslarini, imkoniyatlarini, 
qo‘llanilish sohalarini va boshqa amaliy jihatlarini solishtirish, afzalliklarini 
yoritishdan iborat. 
 Tadqiqot natijalarining ilmiy jihatdan yangilik darajasi
shundaki, 
lazerli texnikaga bag’ishlangan tadqiqot natijalarida, matbuotda e’lon 

---

6 
qilinayotgan 
maqolalarda 
o‘rganilayotgan 
jarayonlarning 
yuz 
berish 
mexanizmlari, ayniqsa, kam energiyali zarralarning materiallar bilan 
ta’sirlashuviga, xususan, mikroelektronikada yordamchi materiallar sifatida 
ishlatiladigan plastmassa, fanera, matolarga ta’siri haqida ma’lumotlar 
berilmaydi. Shu sababli mazkur dissertatsiyada lazer nurlarining yumshoq, mo’rt 
va tekstil materiallariga ta’siri ham o’rganildi.