Bo’lim boshlig’i N. I. Asqarov Kafedra mudiri Sh. A

8. “Dielektrik ustida kremniy” qatlamini qayta kristallash. 
Lazer 
yordamida qayta kristallash usuli bilan amorf moddalar sirtida shaklllantirilgan 
“dielektrik ustida kremniy” qatlamlari boshqa usullar bilan o’stirilgan 
qatlamlarga хos kamchiliklardan halos. Bu holda tuzilmaning asosi kremniy 
taglik bo’ladi. Qayta kristallash impulsli yoki uzluksiz lazer yordamida amalga 
oishiriladi. Barcha hollarda kremniy butun qalinlik bo’yicha suyuladi va 
suyulmadan qatlamlar qayta kristallanadi.
Mazkur tuzilmalar ketma-ket o’tkaziladigan amallar natijasida olinadi: 
kremniy taglik termik (qizdirish) yo’l bilan oksidlanadi yoki taglikka kremniy 
nitridi o’tqaziladi (dielektrik qatlam hosil qilinadi; buning ustiga kremniy 
qatlami o’tqaziladi – gazsimon fazadan (past bosimda) PK o’stiriladi; ionlar 
kiritish usuli bilan PK legirlanadi; PK qatlamni lazer qayta kristallaydi. 
Yaхlit 
kremniy 
qatlamlariga 
lazer 
ishlov 
berilganda 
ular 
polikristallikligicha qoladi, ammo donalar o’nlab mkm gacha kattaradi. Lazer 
yordamida qayta kristallashda kremniyning bir necha o’n kvadrat mkm li yuzali 
monokristallik donalari olinadi. Shunday usul bilan tayyorlangan “dielektrik 
ustida kremniy” qatlamlari asosida MOYa – tranzistorlar, katta integral 
mikrosхemalar (KIMS) tayyorlanadi.

---

84 
9. Yedirish. 
Ultrabinafsha spektr sohasida nurlanish chiqaradigan 
lazerlardan polimer va metall pardalarni bevosita yedirish uchun foydalaniladi. 
Yedirishning bir necha usullari mavjud: qattiq fazadan bug’lantirish yo’li bilan 
yedirish, lazer rag’batlantirgan yedirish. Bu amallardan integral sхemalar hosil 
qilishda keng foydalaniladi.
Bob yuzasidan qisqacha xulosalar 
1. Hozir to’la asos bilan shuni aytish mumkinki, “lazer texnologiyasi” deb 
maxsus termin bilan ataluvchi bu yangi yo’nalish to’laligicha shakllandi: ya’ni, 
uning asosiy fizik xususiyatlari o’rganildi, asbob-uskunalar turkumi ishlab 
chiqildi, sanoat va ishlab chiqarish masshtabida yuzaga keluvchi qator 
texnologik muammolar hal etildi.
2. 
Lazerlar 
hozir 
avtomobil 
sanoatida, 
samolyot 
yasashda, 
radioelektronikada, qurilish materiallari sanoatida samarali qo’llanmoqda.
3. Lazer texnologiyasi “tushuncha”sining o’zi hozirgi kunda ancha 
kengayib ketdi, chunki lazerlar an’anaviy bo’lmagan zonalarda, ya’ni kimyoviy 
mahsulotlar texnologiyasida, monokristallar hosil qilishda, ko’p komponentli 
qo’shilmalarni ajratishda, yarim o’tkazgichli materiallarni lokal legirlashda, 
izotoplarni bo’lishda va boshqa ko’pgina hollarda qo’llaniladi. 
4. Lazerlar, hatto turli sanoat mollarini, agar ular jula kichik o’lchamli va 
juda nozik bo’lsa, markalashda ham keng ishlatiladi. 
5. Lazer fizikasi va texnikasining rivojlanishiga O’zbekiston olimlari ham 
salmoqli hissa qo’shib kelmoqdalar, xususan
a) O’zRFAning “Akademasbob” ilmiy ishlab chiqarish birlashmasida 
nochiziqli optika bo’yicha boshlangan fundamental tadqiqotlar; 
b) sobiq Issiqlik fizikasi bo’limida lazer sistemalarini va qurilmalarini 
yaratish uchun zarur bo’lgan yangi materiallarni tadqiq qilish; 
d) sobiq Elektronika institutida lazer nurlarining qattiq jism sirti bilan 
ta’sirin o’rganish; 

---

85 
e) O’zbekiston Milliy Universitetida lazer nurlanishini qayd etish, 
tasvirlarni qayta tiklash, ma’lumotlarni golografik yozishning yangi usullarini 
ishlab chiqish va takomillashtirish;
f) sobiq Yadro fizikasi institutida lazer plazmasi va ko’pzaryadli ionlar 
emissiyasida yuzaga keladigan jarayonlarni o’rganish kabi juda ko’p 
yo’nalishlar bo’yicha ilmiy-tadqiqot va ilmiy-texnologik ishlar olib borilmoqda. 

---

86