Bo’lim boshlig’i N. I. Asqarov Kafedra mudiri Sh. A

III BOB. LAZERLAR VA ULARNI MIKROELEKTRONIKADA 
QO’LLANILISHI 
 
3.1. Lazerlarning mikroelektronikada qo’llanilishi haqida
Keyingi 20 yil ichida qayta ishlanayotgan materiallarni lazer qurilmalarini 
qo’llash bilan qizdirish usuli keng ishlatila boshlandi. Hozir to’la asos bilan 
shuni aytish mumkinki, “lazer texnologiyasi” deb maxsus termin bilan ataluvchi 
bu yangi yo’nalish to’laligicha shakllandi: ya’ni, uning asosiy fizik xususiyatlari 
o’rganildi, asbob-uskunalar turkumi ishlab chiqildi, sanoat va ishlab chiqarish 
masshtabida yuzaga keluvchi qator texnologik muammolar hal etildi. Lazerlarni 
qo’llash natijasida mehnat unumdorligi keskin ortib, ishlab chiqarilayotgan 
mahsulotning sifati yaxshilanib, tannarxi pasaydi [18].
Hozirgi kunda ishlab chiqarishning ba’zi turlarini lazerlarsiz tasavvur 
qilish qiyin. Lazer texnologiyasi turli soha mutaxassislari – texnologlar, 
apparaturachilar, turli uskunalar yaratuvchilarini hamda boshqa sohada ishlovchi 
barcha tadqiqotchilarni borgan sari o’ziga ko’proq jalb etmoqda. 
Xo’sh, lazer texnologiyasi qanday xususiyati bilan bunday e’tiborga 
sazovor bo’lmoqda? Bu savolga javob berishdan oldin qudratli lazer nurlarining 
boshqa modda – narsalarga qanday ta’sir etishini ko’rib o’tamiz. 
Lazer nurlarining moddalarga ta’siri shundan iboratki, uning kvantlari 
atom va molekulalar orqali qayta ishlanayotgan materialning ustki qatlamlariga 
energiya berib turadi. Lazer bilan nurlantirilgan sirtdagi zichlik quvvati qisqa 
vaqt ichida bir kvadrat santimetrda yuzlab milliard vattga teng bo’ladi. 
Metallning sirtiga kuchli lazer nurini yo’naltirib, uning intensivligini 
tobora oshirib boramiz. Nurning intensivligi 10
5
Wt/cm
2
ga etganda metallning 
erishi boshlanadi. Sirtning yaqinida nurli dog’ ostida suyuq metall paydo 
bo’ladi. Lazer nurining intensivligini 10
6
–10
7
Wt/cm
2
gacha etkazamiz. Endi 
erish bilan birga materialning intensiv ravishda bug’lanishi ham boshlanadi, 
natijada metall sirtida chuqurcha hosil bo’ladi. Nurning intensivligi o’rtacha 10
9

---

69 
Wt/cm
2
ga etganda nur moddaning bug’larini tezlik bilan ionlashtirib plazmaga 
aylantiradi. bunda nur intensiv ravishda plazmaga yutila boshlaydi. U lazer 
nurlarini materialnineg sirtiga o’tishini to’sib qo’yadi. Materialni lazer nuri bilan 
qayta ishlashda plazmaning hosil bo’lishiga yo’l qo’ymaslik lozim. Demak, 
nurning intensivligi uncha katta bo’lmasligi kerak. Shundan ko’rinib turibdiki, 
materialning xususiyati va qaysi turda ishlanishidan qat’iy nazar, nurlanishning 
ma’lum energetik va vaqtinchalik xarakteristikali turlaridan to’la foydalanish 
mumkin. Masalan, materialni bir–biriga payvandlab ulash uchun unga intensiv 
bo’lmagan va shu bilan birga uzoq vaqt davom etadigan impulslar (davomiyligi 
10
-2
-10
-3 
cm) kerak bo’ladi, teshik ochish uchun esa materialning bug’lanish 
tezligini oshirish maqsadida juda qisqa impulslar qo’llanadi.
Lazerli texnologiyaning afzalligini materialni qayta ishlashdagi yuqori 
sifatli aniqlikka erishish, turlicha fizikaviy va mexanik xususiyatga ega bo’lgan 
har 
xil 
turdagi 
materiallarni 
payvandlash, 
texnologik 
jarayonlarni 
avtomatlashtirish imkonini yaratadi, ishlab chiqarish madaniyatini oshirib, 
mehnat sharoitini yaxshilaydi.
Yuqorida sanab o’tilgan afzalliklar asosida qator diqqatga sazovor yangi 
va samarador lazerli texnologik jarayonlar yaratildi. Shulardan ba’zilarni ko’rib 
o’tamiz.