Академия наук республики узбекистан

SCIENTIFIC COUNCIL ON AWARD OF SCIENTIFIC DEGREE OF 
DOCTOR OF SCIENCES 16.07.2013.FM/T.12.01 at 
P
HYSICAL
-
TECHNICAL INSTITUTE AND SAMARKAND STATE UNIVERSITY 
TASHKENT STATE TECHNICAL UNIVERSITY
ASHUROV KHATAM BAKHRONOVICH 
A MONOSILANE TECHNOLOGY OF POLYSILICON PRODUCTION 
AND ION
-
STIMULATED METHODS FOR CREATION OF SILICON 
STRUCTURES 
01.04.04
-
 Physical electronics 
(
technical sciences) 
 
 
 
 
 
DOCTORAL DISSERTATION AS A SCIENTIFIC REPORT
Tashkent 
–
 2016
91 

---

The subject of doctoral dissertation 
as a 
scientific report is registered at Supreme Attestation 
Commission at the Cabinet of Ministers of the Republic of Uzbekistan under number 
30.06.2015/B2015.2.Т522
 
The doctoral dissertation 
as a scientific report has been carried out at the Institute of Ion-plasma and 
laser technologies of Uzbekistan Academy 
of Sciences.
The dissertation 
as a scientific report 
in three languages (Uzbek, Russian, English) has been posted on 
the website at 
www.kengash.fti.uz 
and on Information-educational portal “
Ziyonet”
at 
www.ziyonet.uz
. 
 
Official opponents
:
 
Rasulev Utkir Khasanovich 
doctor of physical and mathematical sciences, professor, 
academician UzAS
 
 
Egamberdiev Bakhrom Egamberdievich
doctor of physical and mathematical sciences, professor