Академия наук республики узбекистан

Guruch. 2.5Eritma eritmasining cheklangan hajmidan qattiq eritmalarni etishtirish uchun o'rnatish sxemasi: 1- termojuft uchun kvarts trubkasi; 2- chiqish H2; 3- kremniyli substratlar; 4 - ushlagichli novda; 5- muhrlash uchun murvatlar; H2 uchun chiqish; 7- grafitli kassetalar; 8- grafit qistirmalari; 9-eritma-eritma; 10 - elektr o'choq; 11 - kvarts shishasi; 12 - kvarts kamerasi.

Agregat quyidagi bloklardan iborat: 1 - issiqlik bloki, 2 - reaktor, 3 - boshqaruv bloki, 4 - gazni tozalash bloki, 5 - sentrifuga.

Tekshirish blokida yuqori chastotali harorat sozlagichi VRT (R-111, I-102) mavjud bo'lib, uning yordamida eritmani sovutish jarayonini - eritishni oldindan belgilangan dastur bo'yicha avtomatik ravishda bajarish mumkin. Vodorodni tozalash "Palladium - 2" zavodida amalga oshirildi. Kassetali taglik ushlagichi quyidagilardan iborat: silindrsimon korpus, ichki qismida tirqishlari, ajratuvchi halqalari va qistirmalari. Kasseta qismlari spektral toza grafitdan qilingan. Kasseta yuqoridan tayoqqa biriktirilgan, buning natijasida u vertikal yo'nalishda harakat qilgan, shuningdek, o'z o'qi atrofida aylanish qobiliyatiga ega edi (2.6-rasm). Eritma - eritma kvarts reaktorining pastki qismiga joylashtirilgan kvarts tigelga joylashtirildi. (2.5-rasm)

Guruch. 2.6Substrat va eritmaning joylashishi - eritish.
1 - kassetalar, 2 - substratlar, 3 - eritma - eritish. substratlar orasidagi masofa.

Suyuq fazali epitaksiyaning muammoli va muhim bosqichlaridan biri kristallanish jarayonini o'z vaqtida to'xtatish, eritma-eritmani drenajlash va o'sib chiqqan qatlamlarning ishchi yuzasini eritma-eritma qoldiqlaridan tozalashdir. Nisbatan yuqori erish nuqtasiga ega bo'lgan metallar, xususan, indiy kabi erituvchilar sifatida foydalanilganda, bu bosqich alohida ahamiyatga ega. Shuning uchun, o'sish moslamasiga elektr motor o'rnatilgan. Kristallanish jarayoni tugagandan so'ng, kassetali novda "yumshoq" adapter yordamida elektr motorining o'qiga biriktiriladi va kasseta 2600 rpm tezlikda aylanadi. Shunday qilib, markazdan qochiruvchi kuch yordamida plyonkalarning sirtlari eritmaning qoldiqlaridan - eritmadan tozalanadi.