6. “Яримўтказгичлар физикаси” фанидан маъруза матнлари

АЛЮМИНИЙ АСОСИДА ОМИК КОНТАКТ ТИЗИМЛАРИНИ

ҲОСИЛ ҚИЛИШ

Алюминий қатламини ҳосил қилиш учун вакуумда (5^.10^-8 Па) термик буђлатиш усули қœлланилади. Юқори сифатли қатлам олиш учун алюминий электрон-нур воситасида қиздирилади (қиздиргич œрнига қаршиликли буђлатгичдан фойдаланилади), бу ҳолда алюминийнинг буђланиш тезлигини электрон-нур қувватига бођлиқ ҳолда кенг чегарада œзгартириш мумкин. Қувватни оширишда металлнинг конденсация тезлиги чизиђий œсади. Қуввати 6 кВт бœлган электрон-нурда ва материал билан таглик орасидаги масофа 0,25 см бœлганда конденсация тезлиги 0,15 мкм/сек ни ташкил қилади.

Маълумки, ҳосил бœлаётган қатлам тузилишига ва контактнинг сифатига температура ва таглик сиртининг сифати таъсир кœрсатади. Шунинг учун ҳам алюминий қопламини œрнатишда кремний таглиги температураси 600-820 К оралиђида танланади, температура ушбу қийматлардан ошганда алюминий қопламаси анча йирик донали бœлиб қолади. Ундан ташқари 720-800 К температура оралиђида алюминийнинг кремнийга адгезияси ошади; қоплама кристалл билан биргаликда эримаслиги учун таглик температураси 950 К дан ошмаслиги зарур. Қоплама ётқизиш олдидан таглик сирти жуда тоза бœлиши керак; таглик эритувчи кислота билан ацетон аралашмасида (1:10), сœнгра тоза ацетонда кетма-кет 3 марта ювилиши керак.
Контакт қаршилигини камайтириш учун n-тур яримœтказгич сиртига молибден буђлатгич ёрдамида термик қиздириш усули билан олтин (Аu) œтқазилади ва 640-670 К да термик ишлов берилади ёки катодий буђлатиш усули қœлланилади.
Кремний кислород билан бирикиш хусусиятига эга бœлгани учун унинг сирти доимо оксидланган ҳолатда бœлади. Шу сабабли алюминий оксидланган юпқа қатлам ичига œтиб кремнийга тез сингиб кетади.
Металл билан қоплаш жараёни œз ичига қуйидаги босқичларни олади:
1. Чанглатгични ёђсизлантириш, алюминийни яхшилаб эритиш ва чанглатгичнинг вольфрам толасини ҳœллаш. Бу вақтда кремний пластинаси тœсқич ёрдамида тœсилади. Тœсқич температураси хона температураси билан тенг.
2. Молибден туткич ва кремний пластинасини ёђсизлантирилади. Алюминийни қиздирилган кремний юзасига 10^-6 мм.сим.уст. босимли вакуумда чанглатилади. Вольфрам қиздириш толасига алюминий жойлаштирилади ва тола ундан ток œтган вақтда қизийди. Чангланаётган алюминий кремний пластинаси сиртига юпқа қатлам кœринишида қопланади. Чанглатиш жараёнининг давомийлиги 5-30 секни ташкил этади, бу талаб қилинган қатлам қалинлигига ва қурилманинг ишлашига бођлиқдир.

3. 
   Кремний пластиналари хона тнмпературасигача совитилади. Чанглатгич ва таглик қиздиргичи ёқилади, бу ишлар бажарилгач, пластиналар сирти юпқа 0,3-1 мкм қалинликдаги алюминий билан қопланади.