1- TAJRIBA ISHI.
Metall va qotishmalarning mikroskopik tahlili
Ishdan maqsad
:
Metall va qotishmalarning mikroskopik tahlili
tavsifini o’rganish.
Kerakli asboblar:
Mikroskop IBS – 9 tur tuzilishli sirti jillirlangan
polikremniy (namuna) mikrometr.
Nazariy qismi
Polikristall kremniyda hozirgi paytda yarim o’tkazgich asboblar va integral
mikroskoplar ishlab chiqarish tehnologiyalarini keng qo’llanilishi tashuvchisi.
a) to’liq dielektr sikli muxofazali integral tuzilishining taglik kristallar
tashuvchisi
b) metall dielektrik yarim o’tkazgich – tranzistorlar uchun.
v) aktiv tuzilmalar – diodlar, fotoelementlar va tranzistorlar sifatida ishlatiladi.
Polikristall kremniy xususiyati uning tuzilish mohiyatiga kuchli bog’liq:
donachanig zichligi va o’lchami: donachalar burilish sirti (donachalar aro chegara -
DACH). Polikristallning bu parametrlari o’zaro bog’liq ya’ni donachalar zichligi
ortishi bilan donachalar o’lchami kamayadi va
donachalar aro chegaraning
solishtirma sirti ortadi.
Donachalar aro chegaraning mavjudligi va ularning foyda hamda legirlovchi
kirishmalar bilan o’zaro ta’sir harakteri polikristall xususiyatini kutilmaganda
keskin o’zgartiradi.
Bu shunga asoslanganki, DACH ularda elektrik faol markazlarni hosil qiladi
va bu markazlar zaryad tashuvchilar uchun ushlab oluvchi satxlar vazifasini o’tashi
mumkin hamda rekombenatsiya va sochilish jarayonlariga tasir qilishi mumkin.
Polikrestall kremninyning o’tkazuvchanligi legirlovchi
kirishma miqdoriga
hamda donachalar o’lchami va donachalar aro chegara holatiga ham bog’liq. 1-
chizma legirlovchi kirishma miqdorini monokristal va polikristal kremniyni
solishtirma qarshiligiga ta’siri ko’rsatilgan.
10
3
0
10
-3
10
15
10
16
10
17
10
18
N, sm
-3
P, Om/sm
2
1
2
1-
polikristall kremniy uchun
2-
monokristall kremniy uchun
Shunday qilib polikristallar va ular asosida yaratilgan
asboblarni elektrofizik
xususyatini o’rganishda polikristallar strukturasi parametrlari xaqidagi
ma’lumotlarni bilish talab qilinadi.
Polikristallar strukturasining o’rganishning turli usullari mavjud. Ular orasida eng
oddiy va qulay usuli ―
metallografik”
usul (2-chizma).
Bu usulning moxiyati
shundan iboratki, bunda mikroskop yordamida 100 marta kattalashtirib , polikritall
tuzulishini xarakterlab beruvchi kattaliklarni bir necha ko’rish maydonida
solishtirish va o’lchash orqali parametrlarini aniqlash mumkin. Polikristalldagi
donachalar zichligini va o’lchamini aniqlash uchun ikkita usuldan foydalaniladi.