232
Применяемых
для
исследования
ПТТ
видов
электронной
спектроскопии ЭОС является наиболее разработанным и широко
распространенным. Количество публикаций, посвященных ЭОС давно много
наименований
Этот метод, описанный в нескольких монографиях и
обзорах.
Метод ЭОС состоит в измерении энергии и количества Оже –
электронов, возникающих при бомбардировке
поверхности твердых тел
пучком электронов. В основе метода ЭОС лежит Оже – процесс, который
заключается в возбуждении атома первичным электроном и после дующей
релаксацией возбуждения путем эмиссии вторичного электрона. Последний
называется Оже – электроном.
Любая интерпретация результатов полученных методом ЭОС
начинается с идентификации (отнесения)
линий спектра, то есть
установления какому элементу соответствует данная линия. Существующие
каталоги Оже – линий охватывают практически все элементы таблицы
Менделеева (за исключением водорода и гелия) и некоторые их соединения.
Однако, существуют два обстоятельства осложняющие качественный анализ:
1 - “химический” сдвиг линий Оже – cпектра, то есть энергетическое
смещение линий элемента присуствующего в матрице не в чистом виде, а в
какой – либо иной форме (например, в форме окисла), 2 – перекрывание
(наложение) линий одного элемента с обертоном друуого.
Первое из
указанных обстоятельств в полной мере проявляется в стеклообразных
материалах. Отметим, что знание “химического” сдвига , соответствкющего
переходу элемента в окисленную форому, превращает его из фактора
осложнящего анализ – в фактор облегчающий
расшифровку строения
исследуемого материала.
В связи с этим ,для верного отнесения линий в многокомпонентных
промыщленных и оптических стеклах и более сложных (комбинированных)
объектах, нами была провендена предварительная работа качественному
анализу
ряда
эталонных
стекол
простого
состава.
Одновременно
иследовалось влияние электронного и ионного пучковна интенсивность
линий Оже – спектров с целью выявления
оптимальных режимов работы
аппаратуры и учета возможны артефактов , о которых
. В
каждом случае особое внимание уделялось углероду – как элементу
присуствующему на поверхности любого исследуемого обьекта.
Исследовался многокомпонентные оптические стекла элементный
состав и концентрационный профиль основных компонентов стекла МОС –
12, содержащего (мол%): SiO
2
– 60,3; Тв
2
О
5
– 6,9 ; В
2
О
3
– 9,9; Na
2
O – 22,2,а
также небольшие количества окислов церия и слова.
Цель работы состояла
выявлении причин аномально низкого (существенно меньше объемного)
значения показателя преломления поверхности (по данным эллипсометрии)
этого стекла
На рис.1 представлены Ож – спектры исходной (1) поверхности МОС
– 13 и после 2 – х часового распыления (2). В исходном состоянии
зарегистрированы линии кремния, бора углевода и кислорода. После
233
распыления идентифицированы линии: Si(61,76эВ), Т
в
(110,128,144эВ),
В(164,173эВ)
имплантированного
Аr(211эВ),
О(505эВ).
Линии
Nа
зарегистрированы не были. Вид спектра качественно не изменялся в течении
всего времени распыления.
При сопоставлении спектров боратных стекол с данным рис. 1 – 2
можно убедится,
что основная полоса Т
в
(144эВ) налагается на один из
низкоэнергетических
саттелитов
основной
полосы
бора
Оценка
относительных интенсивностей линий основной полосы бора. Оценка
относительных интенсивностей линий 44/
ℐ
164 в стекле МОС – 13, а
также
ℐ
164/
ℐ
144 в боратных стеклах позволила установить, что вклад низко
энергетического саттелита бора в основную полосу тербия не превышает 4 –
6%. С учетом этой погресности линия 144 эВ рассматривалась
как основная
полоса тербия.
Do'stlaringiz bilan baham: