‘zbek ist0n respublikasi oliy va ‘rta maxsus ta’lim vazirligi X. K. Aripov, A. M. Abdullayev

Metall — organik birikmalardan (MOB) epitaksiya qilish. MOB
epitaksiya qilish usuli epitaksial qatlam o‘stiriladigan zonaga tashuvchi —
gaz oqimi yordamida tashkil etuvchi komponentalarni uchuvchi modda
(yoki birikma) shaklida eritishdan iborat. Reaktorda, odatda yuqori
tem peratura ta’sirida elitilgan m ateriallar parchalanadi va monokristall
asos sirtiga epitaksial qatlam ko‘rinishda o'tkaziladi.
MOB epitaksiyaning asosiy afzalliklari:
— o'sish tezligi katta bo‘lishi bilan o ‘stiriladigan qatlamlarning
yuqori sifatliligi;
— M NEga nisbatan iqtisodiy afzalligi, chunki yuqori vakuum talab
etilmaydi;
— MNEga nisbatan kattaroq texnologik imkoniyatlarga egaligi;
— keskin chegaralarga ega geterotuzilm alar hosil qilishga yaroqli
texnologiyaga egaligi.
Kimyoviy yig4sh usuli. Tuzilm a tashkil etuvchilarini to ‘g ‘ri
keluvchi m atrisada talab etilgan tartibda m ajburlab joylashtirishwww.ziyouz.com
kutubxonasi
kimyoviy yig'ish deyiladi. Biomolekulalarni kimyoviy yig'ish jarayoni
tirik organizmlarda sodir bo'ladi. Yaqinda chiziqli va stereoregulyar
polim erlarning sun'iy sintezi amalga oshirildi. Bunda m onom erlar
molekulalari qat’iy aniqlangan yo‘nalish olar edilar. Kimyoviy yig‘ish
usullarining biri molekular qatlamlashish usulidan iborat b o ‘lib qattiq
asos — matrisa sirtiga talab etilgan kimyoviy tarkibli m onoqatlam
tuzilm a birikm alarini ketm a-ket o ‘stirishdan iborat. M olekular
q atlam lash ish usuli bilan n an o q atlam lar ato m larin i kim yoviy
reaksiyalarning berilgan dasturi asosida ko‘p martalab qaytargan holda
bittalab kimyoviy yig‘ish mumkin. Hozirgi vaqtda ushbu usuldan
m ikroelektron asboblarni keyingi m ikrom iniatyurlashda foydalanish
imkoniyatlari o ‘rganilmoqda.
Yuqori ajratuvchanlikka ega litografiya. IM Slar elem entlari
o ‘lcham larini kichiklashtirishda litografiyaning ajratuvchanligi R
belgilovchi texnologiya sifatida xizmat qiladi va u Reley formulasidan
topilishi mumkin: