“Yupqa qatlamlar fizikasi va texnologiyaSI”

Adabiyotlar
1. IIq 579-584; 631-641; 691-697

2. 
   462-510
   

8-ma’ruza


Reja

1. 
   Yupqa plyonkalarning olinishning boshlang’ich stadiyalari: namunani tozalik va silliqligini ta’minlash, eksperimental qurilmani ishga tayyorlash.
   
2. 
   O’sishning kinetikasi.
   
3. 
   Yupqa qatlamlar olish universal esperimental qurilmasining tarkibiy qismlari va ishlash prinsipi.
   

YuPQA PLYoNKALAR OLIShNING BOShLANG’ICh STADIYaLARI. O’SIShNING KINETIKASI.
Yupqa plyonkalar hosil qilish, avvalgi aytilgandek, imkoni boricha yuqori vakuum sharoitida (10^-6Pa) amalga oshiriladi.
Faraz qilaylikki, kremniy monokristalining yuzasida kremniy plyonkasini hosil qilish kerak bo’lsin, bunday plyonka hosil qilish uchun asosning yuzasi yuqori darajada silliqlanadi. Buning uchun asos shishada shlifovka qilinadi, keyin esa yumshoq material yuzasini har xil diametrli zarralarga ega bo’lgan pastalar yordamida (g’oya, olmos) polirovka qilinadi. Qo’shimcha sifatida ozgina elektropolirovka qilinishi ham mumkin, keyin esa distirlangan suvda bir necha marta qayta-qayta qaynatilib, spirt bilan tozalanadi va yuqori vakuumli qurilmaga joylashtiriladi. Bunday qurilma taxminan quyidagi ko’rinishga ega:
1 — ion to’p (pushka)
2 - fotonlar dastasini hosil qiluvchi qurilma

3

8.1-расм. Экспериментал ќурилма: ИС-ёруғлик манбаси; ЭП-электрон тўп; М-нишон; ИП1-газ ва актив ионлари манбалари; ФП-фото ќабул ќилгич; ОС-экран; БО-совутиш блоки



- elektron to’p
4 - vakuum hosil qiluvchi sistema
5 - molekulalar manbasi
6 - asos
7 - ochib yopish qurilmasi (zaslonka)
Elektron to’p yuzaning morfologiyasini va kristall tuzilishini o’rganadi. Ion to’p yuzaga ionlar bilan ishlov beradi yoki plyonka tuzilishini o’rganadi (8.1-rasm).
Bundan keyin asosga yuqori vakuumli qurilma ichida ishlov beriladi, ya’ni imkon qadar u yuqori temperaturagacha qizdiriladi. Natijada yuza qo’shimchalardan tozalanadi va silliqlanadi. Bu qizdirishni vodorod oqimi ostida amalga oshirilsa, yuza yanada yaxshiroq tozalanadi va silliqlanadi. Bunday usullar bilan yuzadagi notekisliklarning o’lchamlari 30-50A⁰ gacha keltiriladi. Umuman, kremniyni oltingugurtdan mutlaqo tozalash mumkin (registratsiya qiluvchi asboblarning imkoniyati qadar), uglerod va kisloroddan to’la tozalab bo’lmaydi. Manba ham yuqori darajada tozalanadi, shunday tozalashlardan keyin manbadan uchib chiqqan atomlar asosning yuziga kelib o’tira boshlaydi. O’sish jarayoni taxminan quyidagicha ro’y beradi:
1 - Asosning har-xil joyida alohida atomlar to’plami o’tirib qoladi, bular plyonka hosil bo’lish markazlari bo’lib xizmat qilishi mumkin. Bunda ularning o’lchamlari 20-30A⁰ gacha boradi.
2 - Keyingi atomlar kelib tushishi jarayonida bu markazlar yoniga va balandlik bo’yicha o’sa boshlaydi, bu koalestsentsiya deb ataladi.
3 - Bunday orolchalarning qo’shilishi natijasida o’lchami kattaroq bo’lgan orolchalar paydo bo’la boshlaydi. Orolchalar kichik bo’lgan paytda ularning ko’rinishi uchburchaksimon bo’ladi, ular kattalashganda ko’pincha oltiburchak ko’rinishiga ega bo’ladi. Bu oltiburchaklarning o’lchamlari taxminan 100 E bo’ladi. Orolchalar ma’lum bir o’lchamga etgandan keyin ular boshqa kattalashmaydi.
4 - Orolchalarning orasida boshqa markazlar hosil bo’lib, ular ham o’sa boshlashi mumkin. Ma’lum vaqtdan keyin hamma orolchalar bir-biriga chegaradosh bo’lib qoladi va ular chegaralarida kanallar hosil bo’ladi. Ko’pincha bu plyonkalar polikristall holda bo’ladi. Ulardagi orolchalarni yo’qotish uchun,
bu plyonka - asos sistemasi yuqori temperaturada qizdiriladi (8.2-rasm).