“Yupqa qatlamlar fizikasi va texnologiyaSI”

Yupqa epitaksial plyonkalarning ishlatilish sohalari
Hozirgi paytda Si, CoSi₂, CaF₂, SiO₂, GaAs kabi yarim o’tkazgich va dielektrik plyonkalar mikroelektronika asboblarining eng asosiy komponentlari hisoblanadi. Ulardan tayyorlangan ko’p qatlamli tizimlar har xil MOP, MDP - tranzistorlar, IK-fotodiodlar, optoelektron va elektron eslab qoluvchi tizimlar, O’Yu× asboblar, lavino-prolyot diodlari, katta va ulütra katta integral sxemalar tayyorlashda keng qo’llaniladi.
Yuqorida sanab o’tilganlar orasida metall bazali (MBT) va singish (pronitsaemûy) bazali (SBT) O’Yu× tranzistorlar alohida o’rin tutadi.
Bu tranzistorlarda CoSi₂-Si-CaF₂ tizimi ishlatiladi. Bunda n-p-n bipolyar tranzistorlardagi yarim o’tkazgichli baza metall xususiyatga ega bo’lgan yupqa CoSi₂ qatlami bilan almashtiriladi. Natijada bazaning qarshiligi keskin kamayadi va undagi elektronlar kontsentratsiyasi N»10³ marta ortadi (bipolyar tranzistorda kremniyli baza uchun N»10¹⁹sm^-3, metall bazada esa N»10²²sm^-3). MBT uchun tok tashish koeffitsienti a quyidagi formuladan topiladi.
_(7.1)

Bu erda a*=0,9-1; d - bazaning qalinligi, l - elektronlarning bazadagi erkin yugurish yo’li uzunligi.

MBT va SBT juda yuqori chastotalarda ¦³20¸30 GGts shovqinsiz ishlash qobiliyatiga ega.
Tayanch so’zlar
Yupqa qatlamlar, miniatyurlash, elektronlarning emissiyasi, tok tashuvchilar, optik xususiyatlar, elektr o’tkazuvchanlik, nuqson, morfologiya, kristall tuzilish, kristall panjara, kristall panjara doimiylari, elektr o’tkazuvchanlik, p-n o’tish, yarim o’tkazgichli diodlar, tranzistorlar, kuchaytirgichlar, integral mikrosxemalar, quyosh elementlari, yuqori chastotali asboblar, MOP, MDP - tranzistorlar, IK-fotodiodlar, optoelektron va elektron eslab qoluvchi tizimlar, O’Yu× asboblar, lavino-prolyot diodlari, katta va ulütra katta integral sxemalar, O’Yu× tranzistor, metall bazali tranzistor, singish (pronitsaemûy) bazali tranzistor, n-p-n bipolyar tranzistorlar, tok tashish koeffitsienti (a).
Savollar

1. 
   Yupqa qatlamlarda ro’y beradigan fizik hodisalarning o’ziga xosligini tushuntiring.
   
2. 
   Elektron qurilma va asboblarni yupqa plyonkalar asosida miniatyurlash istiqbollari.
   
3. 
   Yupqa epitaksial plyonkalarning ishlatilish sohalari.
   
4. 
   Metall bazali tranzistorlarda tok tashish koeffitsientini aniqlash formulasi.
   
5. 
   CoSi₂-Si-CaF₂ tizimini hosil qilish jarayonini tushuntiring. Nima uchun CoSi₂ metall bazali tranzistorlar olishda ishlatiladi.
   
6. 
   CoSi₂, Si, CaF₂, AsGa epitaksial plyonkalarning ishlatilish sohalari.
   
7. 
   Kubik panjarali yarimo’tkazgichlar, dielektriklarning parametrlari va fizik xususiyatlarini tushuntiring.
   
8. 
   Epitaksial plyonkalar nima?