Яримўтказгичли моддаларни суюк фазадан эпитаксиал ўстириш усуллари



Download 1,11 Mb.
Pdf ko'rish
bet14/15
Sana25.03.2022
Hajmi1,11 Mb.
#509232
1   ...   7   8   9   10   11   12   13   14   15
Bog'liq
kitobbbbbbbbbbbb

 
(010. (S
2
)
1-Х
(GаP)
Х
 
(0усулида, қалайнинг чекланган ҳажмидаги қоришмали қотишмасидан 950-850
0
температура оралиғида, палладийдан ўтказиб тозаланган водород муҳитида 
мажбурий совутиш йўли билан ўстириб олинади.
11. Si

ва GaP молекулалари асосида (S
2
)
1-Х
(GаP)
Х
 
(0қоришманинг ҳосил бўлиши Si
2
молекуласи ва GаP
 
молекуласи ковалент 


радиуслари бир бирига яқинлиги билан изоҳланади. Микрозондли рентген 
таҳлили эпитаксиал усиш жараёнида катламнинг таркиби узгариб боришини ва 
дастлаб кремний тагликка кремний уса бошлашини ва усиш жараёнида 
кремний молекулалари аста секинлик билан галлий фосфиди молекулалари 
билан алмашиниб бориши маьлум булди. Катламнинг сиртида 100% галлий 
фосфиди хасил булиши курсатиб берилди.
12. Ҳосил қилинган плёнканинг электрофизик ҳоссаларини ўрганиш 
бўйича ўтказилган тажрибалар асосида қатламнинг солиштирма қаршилиги 
 

, Холл ҳаракатчанлиги 
 
x

, эркин ток ташувчилар концентрацияси 
 
n

эпитаксиал катлам калинлиги (d) ва эпитакциал қатламнинг ўтказувчанлик 
хили аниқланди. 300
о
К температурада ўтказилган тажриабаларга кўра қуйидаги 
маълумотлар олинди:
Солиштирма қаршилиги –
 

0,1-0,01 Ом.см; 
Холл ҳаракатчанлиги –
 
x

- 200-300 см
2
/(В∙с);
Электронлар концентрацияси –
 
n
-10 
17
- 10
18
см
-3
Ўтказувчанлиги хили – электронли
Эпитаксиал катлам калинлиги - 35-0 мкм. 

Download 1,11 Mb.

Do'stlaringiz bilan baham:
1   ...   7   8   9   10   11   12   13   14   15




Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©hozir.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling

kiriting | ro'yxatdan o'tish
    Bosh sahifa
юртда тантана
Боғда битган
Бугун юртда
Эшитганлар жилманглар
Эшитмадим деманглар
битган бодомлар
Yangiariq tumani
qitish marakazi
Raqamli texnologiyalar
ilishida muhokamadan
tasdiqqa tavsiya
tavsiya etilgan
iqtisodiyot kafedrasi
steiermarkischen landesregierung
asarlaringizni yuboring
o'zingizning asarlaringizni
Iltimos faqat
faqat o'zingizning
steierm rkischen
landesregierung fachabteilung
rkischen landesregierung
hamshira loyihasi
loyihasi mavsum
faolyatining oqibatlari
asosiy adabiyotlar
fakulteti ahborot
ahborot havfsizligi
havfsizligi kafedrasi
fanidan bo’yicha
fakulteti iqtisodiyot
boshqaruv fakulteti
chiqarishda boshqaruv
ishlab chiqarishda
iqtisodiyot fakultet
multiservis tarmoqlari
fanidan asosiy
Uzbek fanidan
mavzulari potok
asosidagi multiservis
'aliyyil a'ziym
billahil 'aliyyil
illaa billahil
quvvata illaa
falah' deganida
Kompyuter savodxonligi
bo’yicha mustaqil
'alal falah'
Hayya 'alal
'alas soloh
Hayya 'alas
mavsum boyicha


yuklab olish